江苏亚电科技股份有限公司钱诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223819250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520211230.6，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种晶圆清洗槽是由钱诚;霍召军;嵇律设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗槽在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆清洗槽，属于晶圆生产设备技术领域。在溢流槽内设置喷气槽，喷气槽喷出的其他能够将漂浮在液面上的杂质向另一侧吹动，防止处理液上漂浮的杂质一直漂浮在液面上，使杂质能够随着水流流到溢流槽内，提高晶圆清洗效果。
本实用新型一种晶圆清洗槽在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗槽，其特征在于，包括： 主槽1，用于容纳晶圆，并且可以盛装处理液以对主槽1内的晶圆进行处理；这里的处理液可以是各种清洗液、工艺液体或者清水、干燥液； 溢流槽2，设置于所述主槽1的两侧，用于承接所述主槽1内溢出的处理液，所述溢流槽2上方具有倾斜的挡板25； 所述溢流槽2内设置有喷气槽23，所述主槽1的侧壁上开设有喷气口231，所述喷气口231与喷气槽23连通，位于所述溢流槽2一侧的所述喷气槽23用于喷出气体以将所述主槽1内的处理液液面上漂浮的杂质吹向所述溢流槽2另一侧，使杂质经过另一侧的所述溢流槽2流出主槽1。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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