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昆山日月同芯半导体有限公司石鹏飞获国家专利权

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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种UV机用遮光罩获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223819064U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423032864.X,技术领域涉及:B05D3/06;该实用新型一种UV机用遮光罩是由石鹏飞;胡明翊;贾红星设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种UV机用遮光罩在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种UV机用遮光罩,应用晶圆加工技术领域,包括UV机滑盘,所述UV机滑盘的顶部开设有晶圆槽,所述晶圆槽的内部对称滑动连接有四个弧形遮光罩,四个所述弧形遮光罩的一端焊接有延伸遮光罩。通过气缸带动四个弧形遮光罩在晶圆槽的内部滑动,并根据晶圆尺寸进行滑动调节,使弧形遮光罩可以向内收拢或向外张开自动切换12寸和8寸。从而分别适用两种不同尺寸的晶圆,避免人员频繁手动更换,节省人力,提高效率。通过支撑圆杆对晶圆底部的四个方向进行支撑,并通过调节不同方向的上下滑动支撑圆杆,另外两侧的支撑圆杆则对晶圆旋转进行支撑。从而使晶圆可以在多个方向进行自由倾斜角度,使胶膜可以快速固化,提高实用性。

本实用新型一种UV机用遮光罩在权利要求书中公布了:1.一种UV机用遮光罩,包括UV机滑盘1,其特征在于:所述UV机滑盘1的顶部开设有晶圆槽2,所述晶圆槽2的内部对称滑动连接有四个弧形遮光罩3,四个所述弧形遮光罩3的一端焊接有延伸遮光罩5,四个所述弧形遮光罩3远离延伸遮光罩5的一端开设有同延伸遮光罩5滑动连接的滑槽4,所述UV机滑盘1的顶部对称栓接有四个气缸7,四个所述气缸7的输出端均栓接有分别同四个弧形遮光罩3栓接的推块6。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆山日月同芯半导体有限公司,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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