芯恩(青岛)集成电路有限公司董和雯获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种光刻胶供应装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223818600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520087669.2,技术领域涉及:B01F35/71;该实用新型一种光刻胶供应装置是由董和雯设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶供应装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种光刻胶供应装置,其管路结构将第一供应容器内的第一光刻胶与第二供应容器内的第二光刻胶混合为混合光刻胶,通过光刻胶输出结构输出至待处理结构;第一供应量控制结构控制第一供应容器的输出流量,第二供应量控制结构控制第二供应容器的输出流量。本实用新型设置新旧批次混合的混合光刻胶输出至待处理结构,减少新旧批次光刻胶的成分差异导致更换新光刻胶后产品性能变化显著的风险;同时通过供应量控制结构控制混合光刻胶中新旧光刻胶之间的混合比例,进一步提高产品性能一致性;另外混合容器使混合光刻胶输出至待处理结构前有充分的时间混合,提高混合效果;最后通过设置辅助混合结构,进一步优化混合效果。
本实用新型一种光刻胶供应装置在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶供应装置,其特征在于,所述光刻胶供应装置包括:第一供应容器、第二供应容器、第一供应量控制结构、第二供应量控制结构、管路结构和光刻胶输出结构; 所述管路结构用于传输所述第一供应容器内的第一光刻胶、所述第二供应容器内的第二光刻胶、所述第一光刻胶和所述第二光刻胶混合得到的混合光刻胶,所述光刻胶输出结构用于将所述混合光刻胶输出至待处理结构; 所述第一供应量控制结构用于控制所述第一供应容器的输出流量,所述第二供应量控制结构用于控制所述第二供应容器的输出流量。
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