上海集成电路研发中心有限公司戴文俊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司申请的专利过滤装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223818365U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422997390.6，技术领域涉及：B01D46/10；该实用新型过滤装置是由戴文俊;刘晓钰设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本过滤装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种过滤装置，装置包括风箱，均设置在风箱内的风机、冷凝组件和过滤网，风箱具有进风口和出风口，出风口用于与工艺腔连通，冷凝组件位于进风口和出风口之间，过滤网位于冷凝组件和出风口之间。如此，风机启动，使得空气从大气环境中自进风口进入风箱内，在空气从从出风口进入到工艺腔中之前，通过冷凝组件来降低风箱内的温度，从而可以降低大气中分子运动性，使得大气中的水蒸气凝结于冷凝组件上，例如使得空气中的可溶性有机物被吸附凝结，降低空气中的颗粒物含量，保证进入到工艺腔中的空气不会造成ECP制程中三种添加剂的失衡，减少电镀的工艺缺陷。
本实用新型过滤装置在权利要求书中公布了：1.一种过滤装置，其特征在于，包括： 风箱，具有进风口和出风口，所述出风口用于与工艺腔连通； 风机，设置在所述风箱内； 冷凝组件，设置所述风箱内，并位于所述进风口和所述出风口之间； 过滤网，设置在所述风箱内，并位于所述冷凝组件和所述出风口之间； 所述风箱具有回风口，所述回风口位于在所述进风口和所述冷凝组件之间，所述过滤装置还包括风向切换组件，所述风向切换组件设置在所述出风口处，将风向切换至所述工艺腔或所述回风口。
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