昆山日月同芯半导体有限公司倪阳柱获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种激光保护液涂布气泡去除装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223818232U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422624393.5，技术领域涉及：B01D19/02；该实用新型一种激光保护液涂布气泡去除装置是由倪阳柱;胡明翊;贾红星设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光保护液涂布气泡去除装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种激光保护液涂布气泡去除装置，应用在晶圆加工设备领域，包括底座和旋转机构，所述底座的顶部安装有壳体和固定板，所述固定板的一侧栓接有超声消泡器，所述壳体的顶部设置有第一固定框，所述第一固定框的顶部设置有第二固定框，所述第二固定框的内部栓接有振动电机，所述第二固定框的内部和第一固定框之间通过弹簧固定片栓接有固定弹簧，所述第二固定框的顶部和底部分别焊接有圆框和安装架。能够具备气泡去除功能，用于保证晶圆上激光保护液涂布的均匀度，避免制程中不良的发生，提供产品良品的出货率，同时能够便于人员对晶圆快捷拿取，操作简单方便，提高了人员的工作效率，实用性高。
本实用新型一种激光保护液涂布气泡去除装置在权利要求书中公布了：1.一种激光保护液涂布气泡去除装置，包括底座1和旋转机构4，其特征在于：所述底座1的顶部安装有壳体2和固定板3，所述固定板3的一侧栓接有超声消泡器5，所述壳体2的顶部设置有第一固定框6，所述第一固定框6的顶部设置有第二固定框7，所述第二固定框7的内部栓接有振动电机8，所述第二固定框7的内部和第一固定框6之间通过弹簧固定片栓接有固定弹簧9，所述第二固定框7的顶部和底部分别焊接有圆框10和安装架11，所述第二固定框7的底部转动连接有螺纹杆12，所述螺纹杆12的另一端固定套接有第二电机13，所述螺纹杆12的表面螺纹连接有螺纹板14，所述螺纹板14的顶部通过支撑杆栓接有顶板15。
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