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龙图腾网获悉亿隅半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种电源故障检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121114848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511667226.1，技术领域涉及：G01R31/40；该发明授权一种电源故障检测设备是由巴方振;王国宝;赵宏达;张银博;陈宇剑设计研发完成，并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电源故障检测设备在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造设备技术领域，公开了一种电源故障检测设备，包括：射频VI功率计、用于射频VI功率计与连接线进行连接的N型接口以及用于射频VI功率计和其余线束进行连接数据通信接口和连接接口；电源故障检测设备还包括外部磁耦驱动结构、内磁耦配合结构、弹性波纹管、多瓣式弹性接触内芯以及推动结构；通过双重弹性接触结构有效解决了传统N型接口在半导体设备运行环境中因频繁插拔和机械振动导致的接口松动问题，多瓣式弹性接触内芯提供主要的机械锁紧力，而弹性波纹管则确保接触压力的均匀分布，显著降低了接触电阻，防止了射频信号泄漏，从而保证了监测数据的准确性和工艺过程的可控性。

本发明授权一种电源故障检测设备在权利要求书中公布了：1.一种电源故障检测设备，其特征在于，包括：射频VI功率计1、用于射频VI功率计1与连接线进行连接的N型接口2以及用于射频VI功率计1和其余线束进行连接数据通信接口4和连接接口5； 电源故障检测设备还包括外部磁耦驱动结构、内磁耦配合结构、弹性波纹管39、多瓣式弹性接触内芯312以及推动结构； 设置在射频VI功率计1外侧的外部磁耦驱动结构，用于通过外部旋转操作产生磁力驱动； 位于射频VI功率计1内部的内磁耦配合结构，与外部磁耦驱动结构通过磁耦合，用于接收磁力驱动并转化为机械传动； 设于内磁耦配合结构与多瓣式弹性接触内芯312之间的推动结构，用于将轴向运动转化为径向收缩力； 多瓣式弹性接触内芯312，由所述推动结构直接驱动以产生径向收缩； 以及弹性波纹管39，同轴设置在所述多瓣式弹性接触内芯312的内侧，用于在推动结构作用下产生径向收缩，与连接线的端子形成面接触；所述外部磁耦驱动结构包括： 转动环31，可旋转地设置在N型接口2外部； 外部磁耦转动圈34，与转动环31固定连接； 所述内磁耦配合结构包括： 轴向传动套筒35，通过磁耦合与外部磁耦转动圈34连接； 自紧环36，固定设于轴向传动套筒35内部，用于和外部磁耦转动圈34之间磁吸连接； 所述N型接口2上设有与轴向传动套筒35配合的定位槽315； 所述推动结构包括： 锥面压环37，固定连接于轴向传动套筒35，且内部设有推力滚环38； 锥面压环37通过推力滚环38与弹性波纹管39转动连接； 作动板313，设于锥面压环37一端，且与多瓣式弹性接触内芯312内侧传动连接； 所述多瓣式弹性接触内芯312外侧焊接有单向止回卡爪311，若干所述单向止回卡爪311之间连接有同一个复位环310，所述复位环310与锥面压环37之间固定连接； 所述作动板313和多瓣式弹性接触内芯312相对面边部均开设有圆角，两个圆角相互对应； 所述外部磁耦转动圈34外侧等距嵌入安装有磁性件一316，所述自紧环36外侧等距嵌入安装有磁性件二317，所述外部磁耦转动圈34和自紧环36圆周上的磁性件一316和磁性件二317交替排列。

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