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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121114108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511657522.3，技术领域涉及：G01N23/223；该发明授权一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统是由高尚;黄梦诗;刘海涛设计研发完成，并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统在说明书摘要公布了：本发明涉及聚焦离子束FIB和扫描电子显微镜SEM技术领域，具体公开了一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统，该方法包括以下步骤：利用聚焦离子束对目标靶材进行减材加工，形成X射线激发探针；将X射线激发探针精确定位到分析位置，并调整X射线激发探针与待测样品的位置，确保其与待测样品不发生接触；使用扫描电镜以点模式发射电子束并作用到X射线激发探针，激发X射线激发探针产生特征X射线及连续X射线，激发待测样品产生荧光X射线；利用能谱仪探测器接收并分析待测样品产生的荧光X射线信号；本发明通过聚焦离子束制备X射线激发探针并利用电子束激发其产生X射线，激发待测样品荧光，实现非接触式微区元素成分分析。

本发明授权一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法与系统在权利要求书中公布了：1.一种在双束电镜内实现微区XRF的分析方法，其特征在于，包括以下步骤： 利用聚焦离子束对目标靶材进行减材加工，形成用于激发X射线的X射线激发探针； 其中，所述X射线激发探针的获取方法包括： a利用聚焦离子束在块状的靶材母材上目标靶材的上下两侧和左侧切割出上宽下窄的楔形沟槽，并在沟槽底部进行U型切割，使得目标靶材只有一端与靶材母材有连接；进行所述U型切割的过程还包括：从沟槽底部的两侧向中间切削且保留中间1-2微米宽度，作为目标靶材与靶材母材的铰链连接； b在电子束实时监控下，将机械手的针尖精确定位至目标靶材的边缘，并利用离子束诱导沉积技术，在目标靶材的边缘形成牢固焊接点； c使用低束流离子束切断目标靶材与靶材母材的铰链连接，使目标靶材完全脱离靶材母材，得到目标靶材； d使用聚焦离子束减薄目标靶材，通过刻蚀目标靶材的上或下表面，控制目标靶材的厚度，得到X射线激发探针； 将加工后的X射线激发探针精确定位到分析位置，调整加工后的X射线激发探针与待测样品的相对位置，以确保X射线激发探针与待测样品保持安全距离且不发生接触； 启动双束电镜中的扫描电镜以点模式发射电子束并作用到X射线激发探针，激发X射线激发探针产生特征X射线及连续X射线，进而激发待测样品产生荧光X射线； 利用能谱仪探测器接收并分析待测样品产生的荧光X射线信号，以实现对待测样品的微区成分分析。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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