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龙图腾网获悉长春长光启辰科技有限公司申请的专利一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121038024B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511518717.X，技术领域涉及：H05B3/06；该发明授权一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘是由贾卓杭;万昊林;于津皓;任广源设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘在说明书摘要公布了：本发明公开了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，涉及晶圆加工技术领域，包括控制座与加热盘，所述加热盘设于控制座上端并与其电性连接，所述加热盘内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆，所述位于正中心位置的伸缩支撑杆上端固定连接有第一承载台，剩余两组伸缩支撑杆上端固定连接有第二承载台，第一承载台上端固定连接有第一电热丝，第二承载台上端固定连接有第二电热丝，晶圆直径小于第一陶瓷片，仅下压第一陶瓷片，带动第一承载台与第一电热丝上移，单独贴合第一陶瓷片锁热槽；晶圆直径大于第一陶瓷片，同步下压第一、第二陶瓷片，带动两组承载台与电热丝上移，分别贴合对应陶瓷片锁热槽。

本发明授权一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘在权利要求书中公布了：1.一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，包括： 控制座1与加热盘2，所述加热盘2设于控制座1上端并与其电性连接，所述控制座1用于为加热盘2提供电能以及控制，所述加热盘2用于集成各个零部件； 第一陶瓷片3与第二陶瓷片4，设于加热盘2上表面，第一陶瓷片3设于第二陶瓷片4内侧，所述第一陶瓷片3与第二陶瓷片4通过自身材质起到导热效果； 加热机构5，设于加热盘2内，所述加热机构5包括伸缩支撑杆501、第一承载台502、第一电热丝503、第二承载台504以及第二电热丝505，所述加热盘2内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆501，位于正中心位置的所述伸缩支撑杆501上端固定连接有第一承载台502，剩余两组伸缩支撑杆501上端固定连接有第二承载台504，第一承载台502上端固定连接有第一电热丝503，第二承载台504上端固定连接有第二电热丝505，第一电热丝503与第二电热丝505均与控制座1电性连接，所述加热机构5用于控制第一陶瓷片3与第二陶瓷片4升温； 重力调节机构6，设于加热盘2以及第一陶瓷片3与第二陶瓷片4上，所述重力调节机构6用于调整加热机构5与第一陶瓷片3与第二陶瓷片4接触，并进行加热。

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