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龙图腾网获悉雅安宇焜芯材材料科技有限公司申请的专利一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置及处理系统、方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121026889B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511577154.1，技术领域涉及：G01N15/06；该发明授权一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置及处理系统、方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置及处理系统、方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置及处理系统、方法，涉及半导体器件技术领域，包括收集组件和测试组件，所述收集组件包括集尘管以及调节组件，所述集尘管的输入端与集尘设备的输出端连通，所述集尘管内设有风机，所述风机用于产生呈环形的风幕，所述风幕用于将所述集尘管以及所述测试组件内部分割为中心区域以及呈环形的边缘区域，所述风幕还用于在所述测试组件内部汇集并提升汇集区域的气压，所述调节组件用于改变所述风幕的汇集位置，所述测试组件用于接收所述收集组件输出的烟气以及对所述烟气中的颗粒物进行计数，用以测试组件获取的粉尘的数量浓度数据的准确性。

本发明授权一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置及处理系统、方法在权利要求书中公布了：1.一种氮化镓生产用排气粉尘检测装置，包括收集组件和测试组件，其特征在于：所述收集组件包括集尘管1以及调节组件，所述集尘管1的输入端与集尘设备51的输出端连通，所述集尘管1内设有风机11，所述风机11用于产生呈环形的风幕，所述风幕用于将所述集尘管1以及所述测试组件内部分割为中心区域以及呈环形的边缘区域，所述风幕还用于在所述测试组件内部汇集并提升汇集区域的气压，所述调节组件用于改变所述风幕的汇集位置，所述测试组件用于接收所述收集组件输出的烟气以及对所述烟气中的颗粒物进行计数，所述测试组件连通有处理组件，所述处理组件用于对烟气进行分类和处理； 所述测试组件包括测试室2以及空气粒子计数器3，所述调节组件安装于所述测试室2内，所述测试室2与所述集尘管1的输出端连通，所述空气粒子计数器3的进气口设置于所述测试室2内，且所述空气粒子计数器3的进气口与所述集尘管1同轴布置； 所述调节组件包括泵组件和开设于所述测试室2远离所述集尘管1的内侧壁的环形槽21，所述环形槽21的侧壁铰接有若干挡板22，且挡板22侧壁上设有连板23，所述连板23内开有若干空腔25，且所述空腔25侧壁均开有形变槽26，所述形变槽26用于引导所述空腔25侧壁形变，相邻的所述空腔25相互连通，相邻空腔25的连通处设有记忆金属材质的隔片24，所述隔片24的相变温度呈阶梯式设置，所述测试室2侧壁内开有储存腔，所述储存腔与任意一所述空腔25连通，所述隔片24用于改变相邻的腔室连通处的开度，所述隔片24的相变温度随着所述隔片24与所述储存腔的距离的减少而增大，所述储存腔内滑动连接有活塞，所述储存腔内填充有颗粒物，所述泵组件用于改变所述活塞的位置，所述活塞用于推动所述颗粒物进入或远离所述空腔25，所述颗粒物用于调整和限定所述连板23的形状，所述集尘管1内还设有调温组件，所述调温组件用于改变所述风幕的温度； 还包括控制系统，所述控制系统还用获取所述空气粒子计数器3的适宜测试流速，以及获取所述风幕和进入集尘管1中的烟气两者的混合气体的流速，并在混合气体的流速大于适宜测试流动时，所述控制系统通过控制调温组件减少所述风幕汇集时与水平面的夹角，当混合气体的流速小于示意测试流速时，所述控制系统通过控制调温组件增大所述风幕汇集时与水平面的夹角，直至混合气体的流速与适宜测试流速相等，所述控制系统通过调温组件，维持所述风幕的温度，所述控制系统用于获取进入所述集尘管1的烟气体积，并结合颗粒物的数量计算颗粒物的第一数量浓度，当第一数量浓度大于或等于设定阈值时，控制所述处理组件对烟气进行二次处理，当第一数量浓度小于设定数值时，控制所述处理组件对烟气进行排放。

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