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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120976225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511504392.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法是由李自清;曹欢;徐东东;胡周设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法。包括：获取晶圆图像；对晶圆图像进行数据预处理，以得到模型训练数据集；基于微缺陷增强与多尺度视野网络，对所述模型训练数据集进行处理，以获取缺陷专用特征；利用量子启发的稀疏特征重构网络，对缺陷专用特征进行量子态编码处理以及特征重构，以得到初始模型并生成初始模型的结果特征；采用动态聚焦微调损失函数，基于结果特征对所述初始模型进行优化，以得到检测模型。该缺陷检测模型建立方法能够大大降低缺陷检测的人力物力成本，提升了检测效率和识别准确率。

本发明授权缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测模型建立方法，其特征在于，包括如下步骤： 获取晶圆图像； 对所述晶圆图像进行数据预处理，以得到模型训练数据集； 基于微缺陷增强与多尺度视野网络，对所述模型训练数据集进行处理，以获取缺陷专用特征； 利用量子启发的稀疏特征重构网络，对所述缺陷专用特征进行量子态编码处理以及特征重构，以得到初始模型并生成所述初始模型的结果特征，所述利用量子启发的稀疏特征重构网络，对所述缺陷专用特征进行量子态编码处理以及特征重构，以得到初始模型并生成结果特征，包括： 对所述缺陷专用特征进行量子启发的特征编码，其中，所述对所述缺陷专用特征进行量子启发的特征编码，包括：将提取的所述缺陷专用特征编码为量子比特的振幅和相位，使用振幅编码方法将特征向量编码到量子比特的振幅中，将所述缺陷专用特征的二进制像素数据编码为多维量子态； 将进行量子启发的特征编码后的所述缺陷专用特征进行量子门变换； 采用稀疏编码和特征重构网络，对进行量子门变换后的所述缺陷专用特征进行稀疏编码以及特征重构，以得到所述初始模型并生成所述结果特征； 采用动态聚焦微调损失函数，基于所述结果特征对所述初始模型进行优化，以得到检测模型， 所述获取晶圆图像，还包括： 获取所述晶圆图像的缺陷信息； 所述采用动态聚焦微调损失函数，基于所述结果特征对所述初始模型进行优化，以得到检测模型，包括： 采用鉴别器对生成的所述结果特征进行筛选； 采用所述动态聚焦微调损失函数计算筛选出的所述结果特征与所述缺陷信息的差别，进而得到调节参数； 基于所述调节参数对所述初始模型进行优化，其中动态聚焦微调损失函数公式表示为：,其中：为模型对晶圆样本的预测概率，为平衡因子，用于平衡缺陷样本和正常的权重,为调节因子，用于调整难易样本的权重。

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