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龙图腾网获悉朋熙半导体科技(北京)有限公司申请的专利基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120951222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511467903.5，技术领域涉及：G06F18/2433；该发明授权基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备是由涂世骏;李益清设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备，属于晶圆分析领域，具体包括实时接收当前晶圆加工数据；采用特征哈希对每个工作参数项的当前加工数值进行哈希映射，得到当前特征哈希值；采用记录哈希对每条当前晶圆加工数据进行组合哈希映射，得到当前记录哈希值；根据当前时间戳，获取映射到哈希桶的当前特征哈希值和当前记录哈希值的记录频率，并评估当前晶圆加工数据在时间维度上的异常。本申请的处理方案，可以针对晶圆生产的流式数据高效且快速地进行异常分析，且分析准确率高减少了人工复检的晶圆生产工况。

本发明授权基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法，其特征在于，包括： 实时接收当前晶圆加工数据，该当前晶圆加工数据包含当前时间戳、晶圆加工的工作参数项以及对应的当前加工数值； 采用特征哈希对每个所述工作参数项的当前加工数值进行哈希映射，得到当前特征哈希值； 采用记录哈希对每条所述当前晶圆加工数据进行组合哈希映射，得到当前记录哈希值； 根据当前时间戳，获取映射到哈希桶的所述当前特征哈希值和所述当前记录哈希值的记录频率，并评估所述当前晶圆加工数据在时间维度上的异常，所述哈希桶的数量是采用所述特征哈希和所述记录哈希对历史晶圆加工数据进行哈希映射得到的， 其中，当前特征哈希值的异常分值采用公式计算，其中，表示当前特征哈希值的异常分值， 当前记录哈希值的异常分值采用公式计算，其中，表示当前记录哈希值的异常分值， ri为第i条当前晶圆加工数据，rij为第i条当前晶圆加工数据中第j个工作参数项的当前加工数值， 为当前时间戳t中当前晶圆加工数据ri对应哈希值的出现次数， 为截止到当前时间戳t，当前晶圆加工数据ri对应哈希值在哈希桶的当前总记录频率， 为当前时间戳中当前加工数值rij对应哈希值的出现次数， 为截止到当前时间戳t，当前加工数值rij对应哈希值在哈希桶的当前总记录频率， 为当前时间戳。

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