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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利磁控管的控制系统、方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120924929B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511461048.7，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控管的控制系统、方法及半导体工艺设备是由边国栋;张立松;陈婧月;庞雪鹭;赵立仕;石峰;张钦彤;邓斌设计研发完成，并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控管的控制系统、方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种磁控管的控制系统、方法及半导体工艺设备。其中，该控制系统包括：第一旋转轴的一端与第一电机连接，另一端与第一旋转臂连接；第二旋转轴的一端与第二电机连接，另一端分别与第一旋转臂的一端和第二旋转臂连接，第二旋转臂的一端与磁控管连接；第一电机转动时带动第一、第二旋转臂和磁控管转动；第二电机转动时带动第二旋转臂和磁控管转动；控制器根据一次工艺的工艺时间和第一旋转臂在一次工艺中转动的圈数，控制第一电机以第一转速转动，以使第一旋转臂在工艺时间内转整圈，控制第二电机以第二转速转动，以使第二旋转臂在工艺时间内相对第一旋转臂转半圈的整数倍。本申请提高了沉积均匀性和靶材利用率。

本发明授权磁控管的控制系统、方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控管的控制系统，其特征在于，包括： 第一旋转轴，所述第一旋转轴的一端与第一电机连接，所述第一旋转轴的另一端与第一旋转臂连接； 第二旋转轴，所述第二旋转轴的一端与第二电机连接，所述第二旋转轴的另一端分别与所述第一旋转臂的一端和第二旋转臂连接，所述第二旋转臂的一端与磁控管连接； 所述第一电机转动时，带动所述第一旋转臂、所述第二旋转臂和所述磁控管分别以所述第一旋转轴为中心转动； 所述第二电机转动时，带动所述第二旋转臂和所述磁控管分别以所述第二旋转轴为中心转动； 控制器，所述控制器用于根据一次工艺的工艺时间和所述第一旋转臂在一次工艺中转动的圈数，确定所述第一电机的第一转速和所述第二电机的第二转速，并控制所述第一电机以所述第一转速转动，以使所述第一旋转臂在所述工艺时间内转整圈，以及控制所述第二电机以所述第二转速转动，以使所述第二旋转臂在所述工艺时间内相对所述第一旋转臂转半圈的整数倍。

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