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龙图腾网获悉杭州鼎能光电科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349489.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种溅射镀膜装置是由郭家俊;赵泽鑫;宋光耀;龙启凡设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种溅射镀膜装置，包括安装箱，安装箱具有溅射腔及真空腔；溅射腔内设置有溅射阴极，溅射阴极上设有进气板，进气板具有进气管路，进气管路的多个出气总口正对溅射阴极上的靶材均匀设置；真空腔设置有抽气装置；进气管路包括沿气路方向设置的多层气路，每一层气路又包括至少一个子气路，子气路的进气口数量设置为一个，其出气口数量设置为其进气口数量的n倍，且在相邻的两层气路中，上层气路的出气口数量与下层气路中的子气路数量相等，且对应与下层子气路的进气口连通；每个子气路中的n个出气口与其进气口之间的气路长度均一致，且每一层气路中各子气路独立设置。本镀膜装置保证基片上薄膜沉积的均匀性、成膜速率和膜层质量。

本发明授权一种溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜装置，其特征在于，包括安装箱，所述安装箱具有溅射腔及供基片沿第一方向移动的真空腔，所述溅射腔和所述真空腔沿第二方向分布且二者相连通，所述第一方向与所述第二方向相垂直并处于同一平面； 所述溅射腔内设置有溅射阴极，所述溅射阴极上设有靶材，所述溅射阴极上设有进气板，所述进气板具有进气管路，所述进气管路的多个出气总口位于所述溅射阴极内，且正对所述靶材均匀设置； 所述真空腔具有抽气孔，所述抽气孔处设置有抽气装置，在镀膜过程中与所述进气板相配合使用，以使得所述真空腔处于工作气压； 所述进气管路包括沿气路方向设置的多层气路，每一层所述气路又包括至少一个子气路，所述子气路的进气口数量设置为一个，其出气口数量设置为其进气口数量的n倍，且在相邻的两层气路中，上层所述气路的出气口数量与下层所述气路中的所述子气路数量相等，且对应与下层所述子气路的进气口连通； 每个所述子气路中的n个出气口与其进气口之间的气路长度均一致，且每一层所述气路中各所述子气路独立设置； 所述抽气孔与所述溅射腔沿第一方向分布并相对基片位于同侧； 所述抽气孔处设有导流板，所述导流板设置有导流孔，所述导流孔沿第二方向正对所述抽气孔设置，所述导流板与所述抽气孔所在的所述真空腔侧壁相平行且沿第二方向间隔设置，并围成抽气腔； 所述导流孔沿第一方向具有相对的第一导流侧壁和第二导流侧壁，所述第二导流侧壁沿第一方向位于所述抽气孔外侧，且所述第一导流侧壁相对所述第二导流侧壁沿第一方向更靠近所述溅射腔； 所述第一导流侧壁沿第一方向内凸形成有内凸部； 将所述抽气孔轴线所在且平行于第三方向的水平面设置为第一平面，所述内凸部侧壁上沿第三方向越靠近所述抽气孔轴线，与所述第一平面之间的垂直距离越短； 所述内凸部沿第三方向内侧壁的两端位于所述第一导流侧壁的两端； 将所述抽气孔轴线所在且垂直于第三方向的平面设置为第二平面，所述内凸部关于所述第二平面相对称设置。

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