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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120824242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510980045.8，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置是由蔡连旭设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置，包括底板、支柱、挡板和推顶机构，通过调节设置在底板上的均布螺栓来调整装置水平度，与机械手手指保持平行；通过升降气缸对机械手手指进行避位，避免撞机风险，通过两个导正气缸兼容晶圆和方形玻璃的导正动作，通过多个弹簧及轴承结构实现导正时的浮动推顶，保证导正过程中的推力一致，提高本装置适用性，设置在挡板两侧的导向轮a在机械手手指送料过程中为产品实现预导正，防止产品在从提篮中取出过程中偏移过大，控制系统通过设置在挡板中间位置的对射光纤传感器判断产品导正是否到位，实现高精度定位。

本发明授权一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置在权利要求书中公布了：1.一种用于机械手搬运的晶圆及方形玻璃高精度定位装置，其特征在于：包括底板1、支柱2、挡板7和推顶机构；所述底板1为平板，一角处加工成大尺寸倒角，且倒角相邻一边为底边，底板1上呈等边三角形设置三个支柱2，底边朝向机械手手指14送料方向；底板11中间设置传感器支架3，安装反射式传感器4； 所述挡板7为一对，分别直立安装在底板1相邻两边的中间位置，每个挡板7前方设置垫板8，后方安装光纤安装块9和对射光纤传感器10；挡板7后方设置光纤放大器12和卡轨11；每个挡板7两侧分别通过导向轮支架5安装一个导向轮a6，两个导向轮a6的外圈略低于垫板8平面； 所述推顶机构安装在倒角下方，用于降低对产品在本装置导正区域内放置位置的精度要求；所述推顶机构包括升降气缸17、导正气缸a20、导正气缸b23、直线导轨22、弹簧a25、弹簧b28、柔性转接块26、浮动连接板27、导向轮b29和轴承30； 升降气缸17通过导正安装板16与底板1连接，升降气缸17运动方向为竖直方向，通过支撑板18及连接板a19连接导正气缸a20，导正气缸a20运动方向为水平方向； 在导正气缸a20上方设置L型的连接板b21，上方设置导正气缸b23及直线导轨22，所述导正气缸b23为单活塞杆气缸，活塞杆前端为外螺纹结构，连接转接块24，所述转接块24后端加工有螺纹孔，前端加工有圆形凹槽，在凹槽内设置弹簧a25；在直线导轨22滑块上方设置柔性转接块26，所述柔性转接块26尾端设置有缺口，通过转接块24连接导正气缸b23，弹簧a25设置在转接块24前端与柔性转接块26间，在推顶导向时，导向推顶力主要由弹簧a25压缩弹力提供，而非导向气缸b直接推顶导向；在柔性转接块26前端设置浮动连接板27，所述浮动连接板27为十字型结构，一侧短边两侧加工凹槽，在凹槽内分别设置弹簧b28，长边对称位置设置导向轮b29；在浮动连接板27中间底部位置设置轴承30及转轴31，使用两颗圆头平顶螺钉压住轴承30外圈，通过转轴31与柔性连接板连接，使浮动连接板27上方导向轮b29在推顶导向时可进行小角度摆动，弥补物料放置时的偏位情况。

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