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龙图腾网获悉苏州贝格纳工业设备有限公司申请的专利适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120521499B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510623889.7，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统是由王有广设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统在说明书摘要公布了：本发明属于光刻机运行管控技术领域，具体是适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统，包括双频激光干涉仪阵列模块、数据采集预处理模块、多源误差解耦分析模块、同步控制反馈模块和运行监管终端；本发明通过双频激光干涉仪阵列模块形成对双工件台在六自由度方向的全面测量，数据采集预处理模块进行数据采集和预处理，多源误差解耦分析模块输出解耦后的净误差，同步控制反馈模块根据净误差生成补偿信号并闭环控制压电陶瓷驱动器调整工件台位置，环境自适应补偿模块修正激光波长漂移引起的测距误差，实现双工件台位移数据的实时采集、解耦分析及闭环反馈，显著提升光刻机动态对准精度并降低生产管控难度，自动化和智能化水平高。

本发明授权适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统在权利要求书中公布了：1.适配于光刻机双工件台的激光尺测距采集分析系统，其特征在于，包括双频激光干涉仪阵列模块、数据采集预处理模块、多源误差解耦分析模块、同步控制反馈模块和运行监管终端；双频激光干涉仪阵列模块通过部署若干组双频激光干涉仪，形成对双工件台在六自由度方向的全面测量，且将测量得到的原始位移数据通过低噪声差分信号线传输至数据采集预处理模块； 数据采集预处理模块用于进行数据采集和预处理，且将预处理后的数据输入至多源误差解耦分析模块； 多源误差解耦分析模块通过卡尔曼滤波器实时估计出系统的最优状态向量，同时结合预存的有限元分析补偿表对非线性误差进行修正，输出解耦后的净误差至同步控制反馈模块；同步控制反馈模块根据净误差生成补偿信号，闭环控制压电陶瓷驱动器调整工件台位置，且将调整信息发送至运行监管终端； 运行监管终端通信连接应用效果评估模块，应用效果评估模块用于设定时长为P1的生产时期，将生产时期内系统运用效果进行评估，据此生成应用效果优秀信号或应用效果报警信号，且将应用效果优秀信号或应用效果报警信号发送至运行监管终端，运行监管终端接收到应用效果报警信号时发出相应预警； 应用效果评估模块的具体运行过程如下： 统计生产时期内使用系统后光刻机每小时硅片产量的平均值，并与使用系统前的每小时硅片产量的平均值进行比对，据此采集到产率提升比例值，将产率提升比例值与预设产率提升比例阈值进行数值比较，若产率提升比例值未超过预设产率提升比例阈值，则生成应用效果报警信号； 若产率提升比例值超过预设产率提升比例阈值，则获取到生产时期内光刻机所生产产品的所有质量检测信息，将质量检测不合格的产品标记为产异对象；获取到生产时期内产异对象的数量并将其与生产时期内所生产的产品总数量进行比值计算，据此得到产异比例值，将产异比例值与预设产异比例阈值进行数值比较，若产异比例值超过预设产异比例阈值，则生成应用效果报警信号，若产异比例值未超过预设产异比例阈值，则生成应用效果优秀信号； 应用效果评估模块通信连接测试验证决策模块，应用效果评估模块将应用效果报警信号发送至测试验证决策模块，测试验证决策模块接收到应用效果报警信号时将系统性能进行测试，通过测试数据进行分析以验证系统运行表现，据此生成性能验证合格信号或性能验证异常信号，且将性能验证合格信号或性能验证异常信号发送至运行监管终端，运行监管终端接收到性能验证异常信号时发出相应预警； 测试验证决策模块所涉及的测试项目包括测量精度测试、动态响应速度测试和环境适应性测试，其中，测量精度测试中，使用高精度标准器与系统输出数据进行比对以采集其同步误差信息，以及在静态条件下测试系统对已知位移的测量重复性以采集其标准差信息； 动态响应速度测试中，模拟工件台加速度突变，测试系统从检测到误差至输出补偿信号的延迟时间，以及在高速扫描模式下，测试系统对正弦轨迹的跟踪误差；环境适应性测试中，在温湿度波动及气压变化环境下，测试系统测距误差漂移； 测试验证决策模块的具体运行过程如下： 获取到所有测试过程中的测试数据并分类，将相应测试数据与对应预设数据要求进行比对，若相应测试数据未满足对应预设数据要求，则赋予验证符号WY-1； 获取到相应类型数据被赋予验证符号WY-1的次数并将其与相应类型数据的总数量进行比值计算得到测试验异值，将测试验异值与对应预设测试验异阈值进行数值比较，若测试验异值超过对应预设测试验异阈值，则将相应类型数据标记为非标准类型； 若测试验异值未超过对应预设测试验异阈值，则在赋予验证符号WY-1时，将对应测试数据相较于相应预设数据要求的偏离值标记为数偏值，将相应类型数据的所有数偏值进行均值计算得到数险表现值，以及将相应类型数据所对应的数值最大的数偏值标记为数险幅况值； 通过将测试验异值、数险表现值和数险幅况值进行加权求和计算得到数验评估值，将数验评估值与对应预设数验评估阈值进行数值比较，若数验评估值超过对应预设数验评估阈值，则将相应类型数据标记为非标准类型；若存在非标准类型，则生成性能验证异常信号； 若不存在非标准类型，则设定每种类型数据分别对应一组预设性能影响权重值，将相应类型数据的数验评估值与对应预设数验评估阈值进行比值计算得到测试验析值，将测试验析值与对应预设性能影响权重值进行相乘，且将乘积结果标记为测验特征值； 将所有类型数据的测试特征值进行求和计算得到验证决策值，将验证决策值与预设验证决策阈值进行数值比较，若验证决策值超过预设验证决策阈值，则生成性能验证异常信号；若验证决策值未超过预设验证决策阈值，则生成性能验证合格信号。

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