买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳奉天实业有限公司申请的专利用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120353191B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510478935.9，技术领域涉及：G05B19/4097；该发明授权用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统，通过获取离子束在聚焦区域的能量分布参数，根据所述能量分布参数与预设的离子束能量参考模型，确定目标能量调节范围，基于所述目标能量调节范围生成多级能量调节指令，通过所述多级能量调节指令控制离子束能量调节器的输出参数，使离子束的当前能量分布进入所述目标能量调节范围，实时检测调节后的离子束在样本表面的能量波动数据，根据所述能量波动数据与预设的自适应补偿算法，调整所述离子束能量调节器的反馈控制参数，使所述离子束的能量分布维持在所述目标能量调节范围内。本发明可以实现工业加工更优的加工表面质量与工艺一致性。

本发明授权用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取离子束在聚焦区域的能量分布参数，所述能量分布参数包括离子束流强度、能量衰减梯度及空间分布特征； 根据所述能量分布参数与预设的离子束能量参考模型，确定目标能量调节范围，所述目标能量调节范围包括允许的峰值能量偏差阈值及最小能量梯度变化率； 基于所述目标能量调节范围生成多级能量调节指令，通过所述多级能量调节指令控制离子束能量调节器的输出参数，使离子束的当前能量分布进入所述目标能量调节范围； 实时检测调节后的离子束在样本表面的能量波动数据，所述能量波动数据包括瞬时能量偏移量及聚焦点能量扩散系数； 根据所述能量波动数据与预设的自适应补偿算法，调整所述离子束能量调节器的反馈控制参数，使所述离子束的能量分布维持在所述目标能量调节范围内； 其中，所述获取离子束在聚焦区域的能量分布参数，包括以下步骤： 通过环形排列的多轴能量探测阵列同步采集离子束流在聚焦区域不同角度的原始能量信号，所述多轴能量探测阵列的每个探测单元对应预设的径向探测角度，且相邻探测单元的信号采集区域存在部分重叠； 对所述原始能量信号进行时域去噪处理，消除高频电磁干扰分量后生成去噪能量波形簇，所述去噪能量波形簇包含各探测单元对应的波形数据及空间位置标签； 选取所有探测单元中能量积分值最大的基准波形； 在所述基准波形的稳态阶段截取能量维持区间，计算能量维持区间内波形峰值的平均值作为所述离子束流强度； 在基准波形的衰减阶段划分多个等时间间隔的采样窗口； 计算每个采样窗口内能量峰值的下降速率，对所有采样窗口的下降速率求取加权平均值作为所述能量衰减梯度； 将各探测单元的空间位置标签与对应波形能量积分值进行空间插值计算，生成覆盖聚焦区域的三维能量密度曲面； 在所述三维能量密度曲面中识别能量密度极值点的空间坐标，以所述极值点为中心向周边区域进行密度梯度扫描，确定能量密度下降至预设临界值的边界曲面范围； 将所述极值点的空间坐标定义为所述空间分布特征的中心位置，将所述边界曲面范围的最大径向延伸距离定义为所述空间分布特征的扩散半径； 将所述离子束流强度、能量衰减梯度及包含中心位置与扩散半径的空间分布特征组合为所述能量分布参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳奉天实业有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘坑社区甘李六路12号中海信创新产业城13栋A102-2；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。