北京中科科仪股份有限公司刘思源获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120221359B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510391085.9，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质是由刘思源设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明涉及电子显微镜技术领域，公开了一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质.方法包括：通过扫描电子显微镜采集待测样品的样品图像；根据样品图像的灰度值计算样品图像的二次电子平均能量；基于二次电子平均能量和静电加速管的电子电荷量确定静电加速管电压值；基于静电加速管电压值配置扫描电子显微镜的静电加速管，以使扫描电子显微镜输出第一聚焦图像。本发明提高了扫描电子显微镜的聚焦准确率和聚焦效率。
本发明授权一种扫描电子显微镜聚焦方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种扫描电子显微镜聚焦方法，其特征在于，所述方法包括： 通过扫描电子显微镜采集待测样品的样品图像； 根据所述样品图像的灰度值计算所述样品图像的二次电子平均能量；所述根据所述样品图像的灰度值计算所述样品图像的二次电子平均能量，包括：在所述样品图像中确定感兴趣区域；提取所述感兴趣区域的关键特征；统计所述感兴趣区域的平均灰度值；获取能量预测模型，所述能量预测模型基于已知的二次电子能量标签、关键特征样本和灰度值样本进行神经网络训练得到；将所述关键特征和所述平均灰度值输入所述能量预测模型，得到所述感兴趣区域的二次电子平均能量； 基于所述二次电子平均能量和静电加速管的电子电荷量确定静电加速管电压值； 基于所述静电加速管电压值配置扫描电子显微镜的静电加速管，以使所述扫描电子显微镜输出第一聚焦图像。
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