北京北方华创微电子装备有限公司简师节获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311422104.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权半导体清洗设备及清洗方法是由简师节;韦鑫锋设计研发完成，并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体清洗设备及清洗方法，其包括机架、工艺管、固定支架、射频感应线圈和驱动装置，工艺管内部具有腔体，腔体用于容纳待清洗石墨舟；固定支架与机架连接并可相对于机架移动；射频感应线圈绕设在工艺管的外周，射频感应线圈的每匝导线固定在固定支架上，射频感应线圈用于使工艺管内的工艺气体形成等离子体；驱动装置用于驱动固定支架沿第一方向移动，以带动射频感应线圈相对于工艺管沿第一方向移动；其中，第一方向与工艺管的长度方向平行。采用该半导体清洗设备来清洗石墨舟，射频感应线圈围绕部分工艺管，以对石墨舟分段清洗，清洗时间较短。
本发明授权半导体清洗设备及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括： 机架； 工艺管，内部具有腔体，所述腔体用于容纳待清洗石墨舟； 固定支架，与所述机架连接并可相对于所述机架移动； 射频感应线圈，绕设在所述工艺管的外周，所述射频感应线圈的每匝导线固定在所述固定支架上，所述射频感应线圈用于使所述工艺管内的工艺气体形成等离子体； 驱动装置，用于驱动所述固定支架沿第一方向移动，以带动所述射频感应线圈相对于所述工艺管沿所述第一方向移动；其中，所述第一方向与所述工艺管的长度方向平行， 其中所述射频感应线圈的长度小于加载至所述射频感应线圈的射频信号的波长的四分之一，所述石墨舟被所述射频感应线圈包围的长度小于所述石墨舟的长度。
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