珠海格力电器股份有限公司谢梓翔获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电器股份有限公司申请的专利一种沟槽MOSFET器件、制造方法和芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119907284B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411906649.X,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种沟槽MOSFET器件、制造方法和芯片是由谢梓翔;廖勇波;马颖江;宋德超设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沟槽MOSFET器件、制造方法和芯片在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种沟槽MOSFET器件、制造方法和芯片,器件包括沿第一方向交替排列的第一截面区、第二截面区和第三截面区;第一截面区、第二截面区和第三截面区均包括:N型衬底、外延层、第一沟槽、氧化层、第一N区、P阱区、N+区、第二沟槽、栅极和源极;外延层设于N型衬底的一侧;第一N区位于第一沟槽两侧的下方;N+区位于第一沟槽两侧;P阱区连接于N+区的下方;第二沟槽位于第一沟槽的底部;通过第一截面区的位于第二沟槽底部及拐角的P区起到的电场屏蔽作用,以及第三截面区的位于第一沟槽底部的P区起到的电场屏蔽作用,从而避免沟槽拐角处产生较强电场导致的器件损坏,提高了器件的可靠性。
本发明授权一种沟槽MOSFET器件、制造方法和芯片在权利要求书中公布了:1.一种沟槽MOSFET器件,其特征在于,所述器件包括沿第一方向交替排列的第一截面区、第二截面区和第三截面区; 所述第一截面区、所述第二截面区和所述第三截面区均包括:N型衬底、外延层、第一沟槽、氧化层、第一N区、P阱区、N+区、第二沟槽、栅极和源极; 所述外延层设于所述N型衬底的一侧;所述第一N区位于所述第一沟槽两侧的下方; 所述N+区位于所述第一沟槽两侧; 所述P阱区连接于所述N+区的下方;所述P阱区和所述N+区,分别与所述第一沟槽的侧壁连接; 所述第二沟槽位于所述第一沟槽的底部; 所述栅极嵌于所述第一沟槽中;所述源极嵌于所述第二沟槽中;所述栅极位于所述源极两侧; 所述氧化层设置于所述第一沟槽和所述第二沟槽中,包裹所述栅极和所述源极; 所述第一截面区还包括:位于所述第一沟槽的下方的P区,所述P区与所述第一N区位于同一层;所述第二沟槽延伸至所述P区内部; 所述第三截面区还包括:位于所述第一沟槽的下方的P区,所述P区与所述第一沟槽的底部连接;所述第二沟槽贯穿所述P区。
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