中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所李昱东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所申请的专利一种芯片化波长标准装置及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119880163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411763847.5,技术领域涉及:G01J9/00;该发明授权一种芯片化波长标准装置及其制备方法是由李昱东;刘雅丽;李维;韩艳晨;李小宽设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片化波长标准装置及其制备方法在说明书摘要公布了:一种芯片化波长标准装置及其制备方法,属于波长标准领域。本发明的装置包括鉴频模块、泵浦模块、锁定模块和基底。鉴频模块包含MEMS原子气室、微环谐振腔、光电探测器;泵浦模块主要包含激光器及其控制电路;锁定模块包含锁相放大器、参考信号源、PID电路。基底包含铜或者陶瓷热沉、TEC温度控制器。本发明结合微环谐振腔与MEMS原子气室,通过激光器直接泵浦微环谐振腔集成光路,基于微腔自注入锁定的方法将激光波长锁定到微环谐振腔谐振峰上,降低激光器噪声实现激光器线宽压窄。通过微腔倏逝场激发原子气室中的原子跃迁,通过探测荧光进行鉴频。通过鉴频信号控制激光器电流与微腔温度实现激光器频率锁定,实现芯片级的波长计量和量值溯源。
本发明授权一种芯片化波长标准装置及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种芯片化波长标准装置,其特征在于,包含鉴频模块、泵浦模块、锁定模块和基底;其中鉴频模块包含MEMS原子气室、微环谐振腔、光电探测器;泵浦模块主要包含激光器及其控制电路;锁定模块包含MCU控制器、锁相放大器、参考信号源、PID电路;基底包含铜或者陶瓷热沉、TEC温度控制器;鉴频模块用于提取泵浦激光器波长漂移的误差信号,实现对泵浦激光器波长漂移的修正,从而将激光器波长锁定到原子能级跃迁上; 微环谐振腔芯片包括Add-Drop型波导-微环谐振腔耦合光路、Y型耦合器、模斑转换器、微环谐振腔加热器; 鉴频模块围绕MEMS原子气室,在MEMS原子气室的一面内壁上集成微环谐振腔芯片,MEMS原子气室的另一面外壁上集成光电探测器芯片;基于双光子跃迁原理对泵浦激光器进行鉴频和波长锁定;泵浦光从MEMS原子气室侧面微环谐振腔芯片露出的模斑转换器波导端面入射,通过片上波导Y型耦合器注入Add-drop构型微环谐振腔;通过微环谐振腔的倏逝场激发MEMS原子气室内的碱金属原子,实现双光子跃迁;MEMS原子气室另一侧面上的集成光电探测器探测碱金属原子荧光作为鉴频信号,通过锁定电路芯片实现泵浦激光器的波长锁定;通过将MEMS原子气室与Add-drop构型微环谐振腔结合在一起,泵浦激光在微环谐振腔内谐振,利用微环谐振腔本身具备的高片上光功率密度特性,增强泵浦光与气室内碱金属原子的相互作用,更容易在片上激发双光子跃迁,利用双光子跃迁效应对激光器的鉴频特性,将激光器波长锁定到碱金属原子能级的双光子跃迁谱线上,从而实现芯片化波长标准。
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