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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其进气组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119876912B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510304622.1，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权半导体工艺设备及其进气组件是由朱磊;张玉生;彭瑞峰;闫晓堃设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及其进气组件在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其进气组件，属于半导体技术领域。半导体工艺设备包括腔室本体、基座以及支撑轴，基座设置于腔室本体内，支撑轴贯穿腔室本体并与基座相连，进气组件用于向腔室本体内通入气体，进气组件包括用于连接支撑轴的转接环和用于套设在支撑轴外部的导向环，转接环设有用于通入保护气体的保护气体通道，且转接环沿自身的周向间隔设有多个第一出气孔，保护气体通道分别与各第一出气孔连通；导向环用于套设在支撑轴的外部且至少部分位于转接环的上方，导向环与支撑轴之间形成供保护气体流通的气流间隙，气流间隙分别与各第一出气孔连通，远离第一出气孔的气流间隙的过流面积小于靠近第一出气孔的气流间隙的过流面积。

本发明授权半导体工艺设备及其进气组件在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的进气组件，所述半导体工艺设备包括腔室本体20、基座21以及支撑轴22，所述基座21设置于所述腔室本体20内，所述支撑轴22贯穿所述腔室本体20并与所述基座21相连，所述进气组件10用于向所述腔室本体20内通入气体，其特征在于，所述进气组件10包括： 转接环100，所述转接环100用于连接所述支撑轴22，所述转接环100设有用于通入保护气体的保护气体通道110，且所述转接环100沿自身的周向间隔设有多个第一出气孔120，所述保护气体通道110分别与各所述第一出气孔120连通； 导向环200，所述导向环200用于套设在所述支撑轴22的外部，且所述导向环200的至少部分位于所述转接环100的上方，所述导向环200与所述支撑轴22之间形成有用于供所述保护气体流通的气流间隙a，所述气流间隙a分别与各所述第一出气孔120连通， 远离所述第一出气孔120的所述气流间隙a的过流面积小于靠近所述第一出气孔120的所述气流间隙a的过流面积。

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