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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种反射率测试系统及反射率对比验证方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119861053B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411801811.1，技术领域涉及：G01N21/55；该发明授权一种反射率测试系统及反射率对比验证方法是由谢婉露;吴晓斌;韩晓泉;王魁波;李慧;沙鹏飞;罗艳;谭芳蕊;丁金滨设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种反射率测试系统及反射率对比验证方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种反射率测试系统及反射率对比验证方法，系统包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器。反射率对比验证方法用于对所述反射率测试系统的测试准确性进行验证。相较于现有技术，本申请提供的反射率测试系统结构简单，并且能够通过本申请提供的反射率对比验证方法验证并提高测试结果的准确性，因此能够在使反射率测试系统小型化的情况下，保证反射率测试准确性。

本发明授权一种反射率测试系统及反射率对比验证方法在权利要求书中公布了：1.一种反射率对比验证方法，用于对反射率测试系统进行验证，所述反射率测试系统包括：沿光路依次设置的光源系统、收集镜腔室以及样品测试腔室；所述收集镜腔室中设置有聚焦收集镜，所述样品测试腔室中设置有滤光片、能量归一化结构、第一能量探测器、位移台和第二能量探测器； 所述光源系统，用于产生辐照源，该辐照源发出的光束为具有一定发散角的宽光谱光；所述聚焦收集镜，用于反射并聚焦所述辐照源发出的光束，聚焦点位于所述样品测试腔室中且位于所述滤光片和所述能量归一化结构之间；在所述样品测试腔室中，所述聚焦收集镜反射并聚焦的光束经过所述滤光片进行滤光处理后聚焦于所述聚焦点，光束经所述聚焦点之后继续传播进入所述能量归一化结构；所述能量归一化结构提取出两束光，分别为测试光束和监测光束，所述监测光束进入所述第一能量探测器，所述测试光束入射到待测样品表面，经样品表面反射后进入所述第二能量探测器；所述位移台，用于安装待测样品和所述第二能量探测器，能够调节样品的测试位置和所述第二能量探测器的探测位置； 其特征在于，所述方法包括： 确定对比验证所用的标准反射率测试装置，该标准反射率测试装置使用同步辐射源，测试光束是高单色性的s偏振光；待验证的所述反射率测试系统的测试光束是非单色性的非偏振光； 利用所述标准反射率测试装置得到样品在非偏振光下的反射谱Rnλ，λ表示波长； 计算待验证的所述反射率测试系统的测试光束光谱Sinλ=Sλ×Rλ×Tλ；其中，Sλ表示所述光源系统产生的辐照源的辐射光谱分布，Rλ表示所述聚焦收集镜的反射谱，Tλ表示所述滤光片的透射谱； 计算待验证的所述反射率测试系统中经样品的反射光光谱Srλ=Sinλ×Rnλ； 计算样品的理论反射率其中，入射到样品上的测试光束光谱Sinλ波长范围在nm-nm之间，Sdλ表示能量探测器的光谱响应谱； 基于待验证的所述反射率测试系统测试得到样品的反射率Rt，包括：启动所述光源系统，在样品反射率测试前，将待测样品移出光路，使用第一能量探测器探测监测光束的能量E9i，使用第二能量探测器探测测试光束的能量E11i；在样品反射率测试时，将待测样品调节至光路中预设的位置，入射角设置为θ，将第二能量探测器调节至2θ的位置，此时使用第二能量探测器探测样品的反射光能量E11r，使用第一能量探测器探测监测光束的能量E9r；计算得到能量归一化校准因子F=E9rE9i；通过公式Rt=E11rE11i*F计算得到样品的反射率Rt； 对比样品的理论反射率和实验测得的反射率Rt的差值，根据所述差值进行反射率对比验证。

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