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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利位置校准装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812078B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311302649.4，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权位置校准装置及半导体工艺设备是由刘欢;刘贺;李晓辉设计研发完成，并于2023-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本位置校准装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种位置校准装置及半导体工艺设备，位置校准装置包括设置于半导体工艺设备的工艺腔室内的第一光幕组件；第一光幕组件包括位于第一平面的第一光幕发射端、第一光幕接收端、第二光幕发射端和第二光幕接收端，第一光幕发射端用于向工艺腔室内的工件发射第一校准光，第一光幕接收端用于接收第一校准光，并获得工件在第一光幕接收端的第一投影；第二光幕发射端用于向工件发射第二校准光，第二光幕接收端用于接收第二校准光，并获得工件在第二光幕接收端的第二投影；第一校准光和第二校准光在第一平面的夹角大于0°；控制器，用于根据第一投影和第二投影确定工件的位置信息。

本发明授权位置校准装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种位置校准装置，应用于半导体工艺设备，包括：设置于所述半导体工艺设备的工艺腔室内的第一光幕组件， 所述第一光幕组件包括位于第一平面的第一光幕发射端、第一光幕接收端、第二光幕发射端和第二光幕接收端， 所述第一光幕发射端用于向所述工艺腔室内的工件发射第一校准光，所述第一光幕接收端用于接收所述第一校准光，并获得所述工件在所述第一光幕接收端的第一投影， 所述第二光幕发射端用于向所述工件发射第二校准光，所述第二光幕接收端用于接收所述第二校准光，并获得所述工件在所述第二光幕接收端的第二投影，所述第一校准光和所述第二校准光在所述第一平面的夹角大于0°； 第二光幕组件，所述第二光幕组件包括位于第二平面的第三光幕发射端、第三光幕接收端、第四光幕发射端和第四光幕接收端，所述第二平面位于所述第一平面上方， 所述第三光幕发射端用于向伸入所述工艺腔室的机械手发射第三校准光，所述第三光幕接收端用于接收所述第三校准光，并获得所述机械手在所述第三光幕接收端的第三投影， 所述第四光幕发射端用于向伸入所述工艺腔室的机械手发射第四校准光，所述第四光幕接收端用于接收所述第四校准光，并获得所述机械手在所述第四光幕接收端的第四投影，所述第三校准光和所述第四校准光在所述第二平面的夹角大于0°；以及 控制器，用于根据所述第一投影和所述第二投影确定所述工件的位置信息且还用于根据所述第三投影和所述第四投影确定所述机械手的位置信息。

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