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智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请的专利键合装置及其键合方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119764198B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411881651.6,技术领域涉及:H10W72/90;该发明授权键合装置及其键合方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

键合装置及其键合方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种键合装置及其键合方法,键合装置包括基座以及分别设置于基座上的微动基台与垂向运动组件,还包括:下键合头组件,其设置于微动基台上,包括第一吸盘和第一基准块;上键合头组件,其设置于垂向运动组件上,包括第二吸盘和第二基准块;轮廓测量组件包括水平运动组件和轮廓传感器,轮廓传感器对上键合头组件和下键合头组件进行轮廓扫描;视觉传感器,检测第一基准块和第二基准块的相对位置。根据轮廓传感器扫描得到的下键合头组件和上键合头组件的轮廓特征,通过微动基台对第一吸盘进行调整,从而实现上下芯片或晶圆的水平对位和垂向调平,并且在键合前通过视觉传感器对上下芯片或晶圆的相对位置进行检测,从而确保键合精度。

本发明授权键合装置及其键合方法在权利要求书中公布了:1.一种键合装置,包括基座以及分别设置于所述基座上的微动基台与垂向运动组件,其特征在于,还包括: 下键合头组件,所述下键合头组件设置于所述微动基台上,包括第一吸盘和第一基准块,所述微动基台带动所述第一吸盘运动,以对所述第一吸盘的位置进行调节; 上键合头组件,所述上键合头组件设置于所述垂向运动组件上,包括第二吸盘和第二基准块,所述垂向运动组件带动所述第二吸盘运动,以对所述第二吸盘的位置进行调节; 轮廓测量组件,所述轮廓测量组件设置于所述基座上,包括水平运动组件和轮廓传感器,所述水平运动组件驱动所述轮廓传感器沿着第一方向运动,以对所述上键合头组件和所述下键合头组件进行轮廓扫描;以及 至少一视觉传感器,所述视觉传感器设置在所述基座上,用于检测所述第一基准块和所述第二基准块的相对位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司,其通讯地址为:201316 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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