浙江创芯集成电路有限公司张言彩获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利刻蚀设备及刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411823083.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权刻蚀设备及刻蚀方法是由张言彩设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀设备及刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明实施例提供一种刻蚀设备及刻蚀方法，刻蚀设备包括：加工腔室，所述加工腔室内设置有承载晶圆的承载部；设置于所述加工腔室内，与所述承载部连接，带动所述承载部旋转运动的旋转组件；其中，带动所述承载部旋转运动的方向垂直于所述承载部的表面。采用上述技术方案，能够提高晶圆刻蚀均一性，进而提高晶圆加工质量。
本发明授权刻蚀设备及刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括： 加工腔室，所述加工腔室内设置有承载晶圆的承载部； 设置于所述加工腔室内，与所述承载部连接，带动所述承载部旋转运动的旋转组件； 设置于所述承载部内的，容置冷却介质的管路，且所述管路具有冷却介质入口和冷却介质出口； 设置于所述冷却介质入口的第一逆流阀，以及设置于所述冷却介质出口的第二逆流阀；其中，所述第一逆流阀和或第二逆流阀包括：阀体，所述阀体为筒状结构；成对的阀板，对称设置于所述阀体内部相对的两个侧面，且所述阀板的后端与对应的侧面固定连接；其中，所述阀板为板状结构，每对阀板的前端向阀体前端中心轴的方向对称倾斜；所述阀体轴向的两端分别为前端和后端，所述后端朝向所述前端的延伸方向与所述阀体内的冷却介质的流动方向一致；其中，带动所述承载部旋转运动的方向垂直于所述承载部的表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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