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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种光学处理设备及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620558B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411883981.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光学处理设备及其工作方法是由李海龙;林飞;向富豪;余先勇;周国栋设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学处理设备及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种光学处理设备及其工作，其中，所述光学处理设备包括：处理组件，用于向样品投射照明光并根据所述照明光对样品进行处理，所述照明光在样品表面形成照明光斑，并通过所述照明光对样品进行处理；经过减薄处理的校准片，用于对所述照明光斑进行校准；校准组件，用于接收照明光经所述校准片散射形成的散射光，并根据所述散射光对所述照明光斑进行检测。所述光学处理设备能够提高处理速度及处理精度。

本发明授权一种光学处理设备及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种光学处理设备，其特征在于，包括： 处理组件，用于向样品投射照明光并根据所述照明光对样品进行处理，所述照明光在样品表面形成照明光斑，并通过所述照明光对样品进行处理； 经过减薄处理的校准片，用于对所述照明光斑进行校准； 校准组件，用于接收照明光经所述校准片散射形成的散射光，并根据所述散射光对所述照明光斑进行检测； 所述照明光经样品返回形成信号光，所述信号光包括：检测光和所述散射光；所述处理组件包括：光源，用于向样品投射照明光；检测探测器，用于根据所述检测光对样品进行检测； 所述照明光包括第一照明光，所述第一照明光经样品返回的信号光为第一信号光；由第一照明光形成的检测光为第一检测光，由第一照明光形成的散射光为第一散射光； 所述光学处理设备还包括：第一分束器，用于对所述第一信号光进行分离形成所述第一检测光和所述第一散射光；所述检测探测器包括第一检测探测器，所述第一检测探测器用于接收所述第一检测光并根据所述第一检测光对样品进行检测； 所述第一检测光由第一照明光经样品反射后形成；所述第一分束器包括：透光区和反射区，所述透光区用于使所述第一检测光和第一散射光中的一者透过，所述反射区用于使所述第一检测光和第一散射光中的另一者反射。

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