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龙图腾网获悉河海大学申请的专利一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119437866B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411591809.6，技术领域涉及：G01N3/02；该发明授权一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法是由刘海韵;王峰;陈东旭;王婧雪设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法，所述测量装置包括三个分部，每个分部均包括：热执行器结构、与热执行器结构相连的位移测量结构和双层悬臂梁结构；所述方法包括利用热执行器结构推动位移测量结构向双层悬臂梁结构方向移动，当位移测量结构的接触电极与双层悬臂梁结构的待测梁发生接触时，通过位移测量结构的读数分别获得三个分部的水平位移数值s1、s2和s3；由测量装置的几何尺寸、水平位移数值s1、s2和s3、带入方程式求解得到双层薄膜的杨氏模量；本发明设计的MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法具有操作简单，成本低，测量速度快的优点，能够用于工艺线的参数监测。

本发明授权一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS双层薄膜杨氏模量测量装置，其特征在于，包括：三个分部，每个分部均包括：热执行器结构、与热执行器结构相连的位移测量结构和双层悬臂梁结构； 所述热执行器结构包括：连接梁、连接在连接梁两侧的多个Z型热臂、第一锚区、第二锚区、第一金属电极和第二金属电极；热执行器结构关于连接梁呈对称设置；所述第一锚区和第二锚区分别置于连接梁的两侧，并与多个Z型热臂远离连接梁的一端连接；所述第一金属电极和第二金属电极分别置于第一锚区和第二锚区中； 所述位移测量结构包括：动齿、接触电极、分别设置在动齿两侧的第一定齿和第二定齿；所述接触电极设置在动齿的一端； 所述双层悬臂梁结构包括：待测梁、与待测梁连接的第三锚区和第三金属电极；所述第三金属电极置于第三锚区中； 所述热执行器结构的连接梁与动齿远离接触电极的一端相连；所述位移测量结构的接触电极与双层悬臂梁结构的待测梁之间存在空隙；所述待测梁、动齿、接触电极和连接梁均在同一水平轴线上； 其中，三个分部中待测梁的宽度不相同。

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