京东方科技集团股份有限公司赵建昀获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119165649B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310729873.5，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统是由赵建昀;李春昕;吴倩红;刘建兴;曹子博;丁颖设计研发完成，并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统在说明书摘要公布了：本公开公开了一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统，振镜单元包括：键合设置的第一基板和第二基板，第二基板包括容置于空腔结构内的振镜结构，振镜结构具有转动轴，第一基板包括：静电驱动结构；平板电极，面向第二基板设置，且与静电驱动结构相互绝缘设置，静电驱动结构带动平板电极在第一方向上往复运动；平板电极包括位于转动轴不同侧的第一主电极和第二主电极；在静电驱动结构带动平板电极往复运动的过程中，第一主电极和第二主电极与振镜结构的交叠面积发生变化，使作用于振镜结构的静电吸引力发生改变，带动振镜结构沿着转动轴转动。
本发明授权一种振镜单元及其制备方法、扫描镜、雷达系统在权利要求书中公布了：1.一种振镜单元，包括键合设置的第一基板和第二基板，所述第一基板具有凹槽，所述第二基板具有空腔结构，所述第二基板包括容置于所述空腔结构内的振镜结构，所述振镜结构具有转动轴，所述转动轴与所述空腔结构固定，其中，所述第一基板包括： 第一衬底基板； 静电驱动结构，位于所述第一衬底基板的一侧； 平板电极，位于所述静电驱动结构远离所述第一衬底基板的一侧，且与所述静电驱动结构绝缘设置，所述静电驱动结构带动所述平板电极在第一方向上往复运动；所述平板电极包括位于所述转动轴的不同侧的第一主电极和第二主电极；其中，所述第一方向垂直于所述转动轴的延伸方向； 在所述往复运动的过程中，所述第一主电极和所述第二主电极与所述振镜结构的交叠面积发生变化，使作用于所述振镜结构的静电吸引力发生改变，带动所述振镜结构沿着所述转动轴转动。
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