中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院施玉书获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院申请的专利一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118937357B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411095282.8，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法是由施玉书;张树;史舟淼;高启元设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
本发明授权一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接； 所述激光器用于向光栅发射至少两束相互干涉的衍射光； 所述传输分光组件用于接收光栅反射的两束衍射光，并将两束衍射光合束之后再分光，得到两束偏振方向相同且相位不同的分束光； 所述第一光接收器和所述第二光接收器分别用于接收两束偏振方向相同且相位不同的分束光，并发送给所述分析仪； 所述分析仪用于对两束偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算，获得相位解算结果；所述相位解算结果用于表征光栅表面缺陷的程度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院，其通讯地址为：100029 北京市朝阳区北三环东路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励