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龙图腾网获悉中北大学;北京理工大学重庆微电子研究院;赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司申请的专利高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118603070B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410812556.4，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片是由魏雯强;曹慧亮;田慧敏;王晓毅;谢会开;杨云春;蔡麒;崔让设计研发完成，并于2024-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片在说明书摘要公布了：本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

本发明授权高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片在权利要求书中公布了：1.一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，其特征在于：包括谐振子部分和电极部分； 所述谐振子部分包括轮结构和环结构； 所述轮结构包括圆盘形质量块101； 圆盘形质量块101的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；两个豁槽的槽底一一对应地连接有两根呈左右对称分布的直形耦合悬梁A102； 两根直形耦合悬梁A102的端部共同连接有圆环形支撑框架103； 圆环形支撑框架103的外侧面连接有八根沿周向对称分布的双侧梳齿形耦合悬梁A104、四根沿周向对称分布的直形支撑悬梁A105、两根呈前后对称分布的直形耦合悬梁B106； 四根直形支撑悬梁A105一一对应地位于第一根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第二根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间、第三根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第四根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间、第五根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第六根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间、第七根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第八根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间；四根直形支撑悬梁A105的端部一一对应地连接有四个沿周向对称分布的锚点A107； 两根直形耦合悬梁B106一一对应地位于第二根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第三根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间、第六根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第七根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间；两根直形耦合悬梁B106的端部共同连接有圆环形质量块A108； 圆环形质量块A108的内侧面连接有两个呈左右对称分布的悬浮质量块109；两个悬浮质量块109一一对应地位于第四根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第五根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间、第八根双侧梳齿形耦合悬梁A104与第一根双侧梳齿形耦合悬梁A104之间； 所述环结构包括圆环形质量块B110； 圆环形质量块B110同轴套设于圆环形质量块A108的外侧；圆环形质量块B110的内侧面连接有八根沿周向对称分布的直形耦合悬梁C111，且八根直形耦合悬梁C111的周向位置与四根直形支撑悬梁A105的周向位置、两根直形耦合悬梁B106的周向位置、两个悬浮质量块109的周向位置一一对应； 八根直形耦合悬梁C111的端部一一对应地连接有八根沿周向对称分布的口字形支撑悬梁112； 八根口字形支撑悬梁112的内侧面一一对应地连接有八根沿周向对称分布的直形支撑悬梁B113； 八根直形支撑悬梁B113的端部一一对应地连接有八个沿周向对称分布的锚点B114； 圆环形质量块B110的外侧面连接有八根沿周向对称分布的双侧梳齿形耦合悬梁B115，且八根双侧梳齿形耦合悬梁B115的周向位置与八根直形耦合悬梁C111的周向位置一一对应； 所述电极部分包括正方形基座201； 正方形基座201与圆盘形质量块101同轴设置；正方形基座201的上表面溅射有两个呈前后对称分布的弓形平面电极202、两个呈前后对称分布的鼓形平面电极A203、两个呈前后对称分布的鼓形平面电极B204、八对沿周向对称分布的条形平面电极A205、四个沿周向对称分布的点状平面电极A206、两个呈左右对称分布的T形平面电极207、两对呈左右对称分布的弧形平面电极A208、两对呈左右对称分布的弧形平面电极B209、八个沿周向对称分布的点状平面电极B210、八对沿周向对称分布的弧形平面电极C211、八对沿周向对称分布的条形平面电极B212； 两个弓形平面电极202的上表面与圆盘形质量块101的下表面共同构成两个平行电容A； 两个鼓形平面电极A203均位于两个弓形平面电极202之间；两个鼓形平面电极A203的上表面与圆盘形质量块101的下表面共同构成两个平行电容B； 两个鼓形平面电极B204均位于两个鼓形平面电极A203之间；两个鼓形平面电极B204的上表面与圆盘形质量块101的下表面共同构成两个平行电容C； 八对条形平面电极A205的上表面一一对应地键合有八对沿周向对称分布的单侧梳齿形立体电极A213；八对单侧梳齿形立体电极A213一一对应地对称嵌合于八根双侧梳齿形耦合悬梁A104的两侧，且八对单侧梳齿形立体电极A213与八根双侧梳齿形耦合悬梁A104一一对应地构成八对梳齿电容A； 四个点状平面电极A206的上表面与四个锚点A107的下表面一一对应地键合； 两个T形平面电极207的上表面与圆环形质量块A108的下表面及两个悬浮质量块109的下表面共同构成两个平行电容D； 两对弧形平面电极A208一一对应地对称分布于两个T形平面电极207的两侧；两对弧形平面电极A208的上表面与圆环形质量块A108的下表面共同构成两对平行电容E； 两对弧形平面电极B209一一对应地对称分布于两对弧形平面电极A208的两侧；两对弧形平面电极B209的上表面与圆环形质量块A108的下表面共同构成两对平行电容F； 八个点状平面电极B210的上表面与八个锚点B114的下表面一一对应地键合； 八对弧形平面电极C211的上表面一一对应地键合有八对弧形立体电极214；八对弧形立体电极214一一对应地对称分布于八根直形耦合悬梁C111的两侧，且八对弧形立体电极214的外侧面与圆环形质量块B110的内侧面共同构成八对平行电容G； 八对条形平面电极B212的上表面一一对应地键合有八对单侧梳齿形立体电极B215；八对单侧梳齿形立体电极B215一一对应地对称嵌合于八根双侧梳齿形耦合悬梁B115的两侧，且八对单侧梳齿形立体电极B215与八根双侧梳齿形耦合悬梁B115一一对应地构成八对梳齿电容B。

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