天津大学;北京智芯微电子科技有限公司杜君获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学;北京智芯微电子科技有限公司申请的专利隧道磁阻加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118443968B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410402456.4,技术领域涉及:G01P15/105;该发明授权隧道磁阻加速度计是由杜君;赵毅强;李尧;方东明;孙恒超;张程昱;闻志国;李良;王祥设计研发完成,并于2024-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本隧道磁阻加速度计在说明书摘要公布了:本发明涉及电子传感器领域,提供一种隧道磁阻加速度计,包括支撑结构、质量块、线圈、弹性梁以及四个隧道磁阻元件,质量块与弹性梁相连,质量块悬空设于支撑结构上,线圈设于质量块的表面,四个隧道磁阻元件设置于支撑结构的表面,且对称分布于质量块的四周,其中两个隧道磁阻元件所在的直线平行于X方向,另外两个隧道磁阻元件所在的直线平行于Y方向。质量块能够在X方向、Y方向或Z方向的加速度作用下运动以带动线圈运动。四个隧道磁阻元件中每两个隧道磁阻元件构成差分磁场检测结构,能够感应线圈运动状态变化下产生的磁场变化,通过测量磁场变化值实现单轴向、双轴向X和Y或三轴向X、Y和Z加速度的高精度检测。
本发明授权隧道磁阻加速度计在权利要求书中公布了:1.一种基于隧道磁阻加速度计的加速度检测方法,其特征在于,所述隧道磁阻加速度计包括:支撑结构、质量块、线圈、弹性梁以及四个隧道磁阻元件,质量块与弹性梁相连,质量块悬空设于支撑结构上,线圈设于质量块的表面; 四个隧道磁阻元件设置于支撑结构的表面,且对称分布于质量块的四周,其中两个隧道磁阻元件所在的直线平行于X方向,另外两个隧道磁阻元件所在的直线平行于Y方向; 四个弹性梁的第一端分别固定于支撑结构上,四个弹性梁的第二端分别与质量块的四端相连,弹性梁与支撑结构之间的夹角为锐角; 质量块能够在X方向、Y方向或Z方向的加速度作用下运动以带动线圈相应运动; 四个隧道磁阻元件中每两个隧道磁阻元件构成差分磁场检测结构,用于感应线圈运动状态变化下产生的磁场变化; 所述基于隧道磁阻加速度计的加速度检测方法包括: 质量块在Z方向的加速度作用下带动线圈相应运动,平行于X方向的两个隧道磁阻元件以及平行于Y方向的两个隧道磁阻元件均感应到线圈产生的磁场大小发生改变,输出磁场变化值,该磁场变化值为四个隧道磁阻元件感应到的线圈运动状态下的磁场变化值与线圈静止状态下的磁场变化值的和,根据四个隧道磁阻元件感应到的磁场变化值的差值计算Z方向上的加速度; 质量块在斜向的加速度作用下运动以带动线圈相应运动,根据四个隧道磁阻元件的输出计算斜向的加速度,具体为:假设斜向的加速度的方向与X、Y、Z轴绕向夹角分别为α、β、γ,根据四个隧道磁阻元件输出的B_x斜向的值、B_y斜向的值、B_z斜向的值计算夹角α、β、γ,根据夹角α、β、γ计算斜向的加速度。
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