新毅东(上海)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利光刻机载物台控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117452774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311369234.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机载物台控制方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机载物台控制方法在说明书摘要公布了：提供了一种光刻机载物台控制方法，包括：输入新业务；基于新业务的权重值将新业务入队到业务队列中；业务队列将队首的待处理业务出队，并切换当前状态对象以对应待处理业务的状态对象，并调用当前状态对象的任务分配；待处理业务对应的待处理任务入队到处理队列中，处理队列的阻塞位置变为可用，待处理任务从处理队列出队后调用硬件设备执行待处理任务；以及，硬件设备在执行完待处理任务后，将处理结果入队到处理队列中，处理队列的阻塞位置变为可用，并将处理结果返回给待处理业务的当前状态对象处理。这样，基于光刻机载物台的业务需求，通过状态委托和双队列管理来进行光刻机载物台的控制，可以提升光刻机载物台的控制效果。
本发明授权光刻机载物台控制方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机载物台控制方法，包括： 外部控制系统调用载物台控制器对外提供的业务接口以输入新业务； 所述载物台控制器基于所述新业务的权重值将所述新业务入队到业务队列中； 所述业务队列将队首的待处理业务出队，并切换当前状态对象以对应所述待处理业务的状态对象，并调用所述当前状态对象的任务分配； 所述待处理业务对应的待处理任务入队到处理队列中，所述处理队列的阻塞位置变为可用，所述待处理任务从所述处理队列出队后调用硬件设备执行所述待处理任务；以及 所述硬件设备在执行完所述待处理任务后，将处理结果入队到所述处理队列中，所述处理队列的阻塞位置变为可用，并将所述处理结果返回给所述待处理业务的所述当前状态对象处理。
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