昆明物理研究所王青获国家专利权
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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种强微腔谐振增强红外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117317042B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311238657.7,技术领域涉及:H10F77/40;该发明授权一种强微腔谐振增强红外探测器及其制备方法是由王青;孙鸿生;卢艳;杨泽东;黄一彬;程增赐;张亚平;陈灿忠;查灵丽;杨建荣设计研发完成,并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种强微腔谐振增强红外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种强微腔谐振增强红外探测器及其制备方法,属于红外探测器技术领域。所述强微腔谐振增强红外探测器包括:位于底层的读出电路;位于所述读出电路的上方的分布式布拉格反射器,其内部具有若干根长度方向沿分布式布拉格反射器厚度方向分布的铟柱;位于所述分布式布拉格反射器上方的红外光敏芯片,其通过所述铟柱与所述读出电路互联;位于所述红外光敏芯片上方的钝化层;其中,所述分布式布拉格反射器的上表面和所述钝化层的下表面之间构成谐振腔,以对需要探测的目标红外光进行谐振增强。本发明可以提升红外探测器的量子效率,提高铟柱倒装焊的有效导通率和可靠性,提高红外探测器性能。
本发明授权一种强微腔谐振增强红外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种强微腔谐振增强红外探测器,其特征在于,包括: 读出电路1,其位于底层; 分布式布拉格反射器2,其位于所述读出电路1的上方,所述分布式布拉格反射器2的内部具有若干根长度方向沿分布式布拉格反射器2厚度方向分布的铟柱5; 红外光敏芯片3,其位于所述分布式布拉格反射器2上方,其通过所述铟柱5与所述读出电路1互联;和 钝化层4,其位于所述红外光敏芯片3上方; 其中,所述分布式布拉格反射器2的上表面和所述钝化层4的下表面之间构成谐振腔,以对需要探测的目标红外光进行谐振增强。
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