杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司上海分公司;罗门哈斯电子材料有限公司杜鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司上海分公司;罗门哈斯电子材料有限公司申请的专利一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116926327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210343290.4,技术领域涉及:C22B7/00;该发明授权一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法是由杜鹏;段铃丽;朱志亮设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种从铜化学机械抛光Cu‑CMP的废料流中回收水和铜的方法。所述废料流中的水通过蒸馏被回收,并且铜通过硫酸处理经烧结固体被回收。本发明所述方法提供了至少80%的水回收率和至少80%的铜回收率。
本发明授权一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法在权利要求书中公布了:1.一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法,包括以下步骤: a提供铜化学机械抛光的废料流; b通过蒸馏从步骤a的废料流中除去大部分的水,以获得淤泥和蒸馏水; c通过热空气干燥或喷雾干燥来干燥从步骤b所得的淤泥; d将从步骤c所得的经干燥淤泥在400℃至1000℃的温度下进行烧结1小时至10小时,以去除有机物质并得到经烧结固体; e用硫酸水溶液处理从步骤d所得的经烧结固体,以形成包含硫酸铜溶液和不溶性固体的混合物; f通过离心、过滤或两者并用来分离从步骤e所得的硫酸铜溶液和所述不溶性固体;以及 g回收被分离的硫酸铜溶液用于循环利用; 其中, 所述铜化学机械抛光的废料流包括研磨颗粒、铜离子和有机物质。
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