北京北方华创微电子装备有限公司梁家齐获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利清洗腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116727399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310712947.4，技术领域涉及：B08B15/02；该发明授权清洗腔室是由梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广设计研发完成，并于2021-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗腔室在说明书摘要公布了：本发明公开一种清洗腔室，包括腔室本体、排风箱体、调节机构和排液装置；排风箱体位于腔室本体之外，且排风箱体与腔室本体相连通，排风箱体开设有与外界空间相连通的通孔；调节机构包括调节板，调节板可活动地位于排风箱体内，调节板用于调节排风箱体的排风量；其中，调节板设置于腔室本体和排风箱体的连通口与排风箱体与厂务排风端的连通口之间，且调节板朝向腔室本体与排风箱体的连通口的一侧倾斜向下设置；排液装置通过通孔与外界空间相连通，排液装置用于收集排风箱体内冷凝的液体，并将收集的液体通过通孔排至外界空间。上述方案能够解决清洗腔室的清洗效果较差的问题。
本发明授权清洗腔室在权利要求书中公布了：1.一种清洗腔室，其特征在于，包括： 腔室本体100； 排风箱体200，所述排风箱体200位于所述腔室本体100之外，且所述排风箱体200与所述腔室本体100相连通，所述排风箱体200开设有与外界空间相连通的通孔231； 调节机构300，所述调节机构300包括调节板310，所述调节板310可活动地位于所述排风箱体200内，所述调节板310用于调节所述排风箱体200的排风量；其中，所述调节板310设置于所述腔室本体100和所述排风箱体200的连通口与所述排风箱体200与厂务排风端的连通口之间，且所述调节板310朝向所述腔室本体100与所述排风箱体200的连通口的一侧倾斜向下设置； 排液装置，所述排液装置位于所述排风箱体200内且位于调节板310的下方，所述排液装置通过所述通孔231与所述外界空间相连通，所述排液装置用于收集所述排风箱体200内冷凝的液体，并将收集的液体通过所述通孔231排至所述外界空间。
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