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龙图腾网获悉河南通用智能装备有限公司申请的专利多功能机械手及其晶圆加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116564847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210105722.8，技术领域涉及：H10P54/40；该发明授权多功能机械手及其晶圆加工装置是由陶为银设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本多功能机械手及其晶圆加工装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多功能机械手，包括底座，底座侧方固定有吸盘机械手，与吸盘机械手所在侧壁的相对侧壁设置旋转切割组件，与吸盘机械手所在侧壁的相邻侧壁设置视觉系统，视觉系统的朝向与旋转切割组件的朝向一致。本发明通过六轴机械臂控制多功能机械手开始工作，并能摆放到指定位置，工作过程中灵活方便，切割组件中通过控制蝶形螺母调节刀轮角度，进行精准的切割，视觉系统能够精准定位到晶圆的圆心以及晶圆的边缘。

本发明授权多功能机械手及其晶圆加工装置在权利要求书中公布了：1.多功能机械手，包括底座，其特征在于，底座侧方固定有吸盘机械手，与吸盘机械手所在侧壁的相对侧壁设置旋转切割组件，与吸盘机械手所在侧壁的相邻侧壁设置视觉系统，视觉系统的朝向与旋转切割组件的朝向一致； 所述旋转切割组件包括：固定在底座侧壁的旋转驱动装置、固定在旋转驱动装置输出轴末端的旋转臂和与旋转臂端部连接的可调刀轮组，其特征在于，所述可调刀轮组包括：刀轮安装座、摆动装置、活动板和刀轮；刀轮安装座固定在旋转臂端部，活动板与刀轮安装座之间通过摆动装置连接，刀轮暗转挂在活动板底部，在刀轮安装座远离旋转电机的端设置有U型缺口，摆动装置包括摆动板、摆动轴、调节板、调节丝杠和活动板；摆动板通过摆动轴设置在U型缺口内，摆动轴通过轴承固定在U型缺口的侧壁上，且摆动板与U型缺口相邻的侧壁之间留有余量；U型缺口的顶部和底部均固定有调节板，调节板底部开设有与U型缺口相对应的凹槽，顶部开设有调节孔；调节丝杠穿过调节孔并贯穿摆动板，且调节丝杠的径向面积小于调节孔的径向面积，并与摆动板之间为螺纹连接，丝杠的端部均螺纹连接有蝶形螺母；活动板与摆动板伸出U型缺口的侧壁连接； 蝶形螺母与调节板之间设置有半圆垫片，且半圆垫片穿过调节丝杠，半圆垫片的弧形面与调节板接触； 活动板与摆动板之间连接有缓冲装置，缓冲装置包括缓冲基板、缓冲弹簧、缓冲限位轴、直线导轨和缓冲挡板；缓冲挡板固定在活动板顶部；缓冲基板与摆动轴伸出U型缺口的侧壁连接，缓冲基板与直线导轨的滑块连接，直线导轨中的导轨固定在活动板上；缓冲限位轴穿过缓冲挡板，且一端与活动基板连接，另一端连接有缓冲垫片，缓冲垫片与缓冲挡板之间套设有缓冲弹簧。

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