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杭州大立微电子有限公司罗雯雯获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州大立微电子有限公司申请的专利非制冷焦平面红外传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116558651B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310614053.1,技术领域涉及:G01J5/48;该发明授权非制冷焦平面红外传感器及其制备方法是由罗雯雯;姜利军;杨翔宇;钱良山;马志刚;潘峰;庞惠民设计研发完成,并于2023-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。

非制冷焦平面红外传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种非制冷焦平面红外传感器及其制备方法,所述非制冷焦平面红外传感器包括:衬底,所述衬底中具有读出电路;位于所述衬底上的多个像元微桥,每一个所述像元微桥包括第一桥墩、桥腿悬臂梁、第二桥墩和微桥桥面,其中,所述第一桥墩凸设于所述衬底的表面,所述桥腿悬臂梁通过所述第一桥墩支撑悬空于所述衬底上方,所述第二桥墩凸设于所述桥腿悬臂梁的表面,所述微桥桥面通过所述第二桥墩支撑悬空于所述桥腿悬臂梁上方,所述微桥桥面通过所述第二桥墩、桥腿悬臂梁和第一桥墩与所述读出电路电连接;且单个所述像元微桥的桥腿悬臂梁还横跨位于相邻的至少两个所述微桥桥面下方。增加桥腿悬臂梁的设计空间,提高像元微桥的设计自由度和绝热性能。

本发明授权非制冷焦平面红外传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种非制冷焦平面红外传感器,其特征在于,包括: 衬底,所述衬底中具有读出电路; 位于所述衬底上的多个像元微桥,每一个所述像元微桥包括第一桥墩、桥腿悬臂梁、第二桥墩和微桥桥面,其中,所述第一桥墩凸设于所述衬底的表面,所述桥腿悬臂梁通过所述第一桥墩支撑悬空于所述衬底上方,所述第二桥墩凸设于所述桥腿悬臂梁的表面,所述微桥桥面通过所述第二桥墩支撑悬空于所述桥腿悬臂梁上方,所述微桥桥面通过所述第二桥墩、桥腿悬臂梁和第一桥墩与所述读出电路电连接; 且单个所述像元微桥的桥腿悬臂梁还横跨位于相邻的至少两个所述微桥桥面下方; 所述第一桥墩和桥腿悬臂梁包括第一支撑层、位于第一支撑层上的第一电极层以及位于第一电极层上的第一钝化层,所述第二桥墩包括第二支撑层、位于第二支撑层上的第二电极层以及位于第二电极层上的第二钝化层,所述第二电极层与所述第一电极层电连接; 位于所述衬底表面的反射层,所述微桥桥面与反射层形成14吸收波长的共振吸收腔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州大立微电子有限公司,其通讯地址为:310053 浙江省杭州市滨江区滨康路639号二区2402室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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