TCL中环新能源科技股份有限公司王晓鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉TCL中环新能源科技股份有限公司申请的专利一种晶圆棒开方控制系统及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116533402B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210094054.3,技术领域涉及:B28D7/04;该发明授权一种晶圆棒开方控制系统及控制方法是由王晓鹏;梁志慧;李喜珍;贡艺强;王猛;石岩;杨树生;赵艳慧;常顺;林雪龙;李志剑;赵伟;王光宇;尹琨设计研发完成,并于2022-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆棒开方控制系统及控制方法在说明书摘要公布了:一种晶圆棒开方控制系统及控制方法,包括:用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台;所述移动平台配设有上料机构和下料机构,所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧,所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶圆棒移走时同步将新的待开方的所述晶圆棒送至所述开方仓处。本发明待开方的晶圆棒上料和去边皮后的晶圆棒下料是采用异侧传输,且可同步进行下一轮待开方晶圆棒的上料和上一轮去边皮晶圆棒的下料,不仅可提高硅棒周转的安全性,亦可使上下料工作无缝隙衔接,生产效率高,并可降低边皮之间及边皮与晶方棒之间的磕碰,保证质量。
本发明授权一种晶圆棒开方控制系统及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆棒开方控制系统,其特征在于,包括: 用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台; 所述移动平台配设有上料机构和下料机构,所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧,所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶圆棒移走时同步将新的待开方的所述晶圆棒送至所述开方仓处; 所述上料机构包括: 固设于所述开方仓外部的滑动台一端的上料台; 和靠近所述开方仓一侧设置并与所述上料台配合的备料台; 所述上料台和所述备料台均配设有同轴设置的上料轨道,在所述上料轨道上还设有用于定位所述晶圆棒的挡块; 在所述备料台上还设有两组用于抓取所述晶圆棒的夹固件; 远离所述挡块的所述夹固件设有拉杆,所述拉杆受其所在的所述夹固件带动以拉动所述晶圆棒朝靠近所述挡块一端移动,并使所述晶圆棒被所述挡块抵顶固定在所述备料台上; 所述拉杆为L型结构,沿所述备料台的长度方向水平设置,其一端固设于远离所述挡块的所述夹固件靠近所述上料台的侧壁面上,另一端悬空设置。
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