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滁州捷泰新能源科技有限公司彭高攀获国家专利权

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龙图腾网获悉滁州捷泰新能源科技有限公司申请的专利一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116497459B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310487082.6,技术领域涉及:C30B33/00;该发明授权一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备是由彭高攀设计研发完成,并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体产品制备领域,公开了一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备,该管式扩散氧化炉包括炉管本体;炉管本体包括沿长度方向依次分布的多个加热区段;每个加热区段的管壁上均铺设有多个主加热条,各个主加热条和炉管本体的长度方向平行;还包括在相邻两个加热区段之间的过渡区段沿管壁设置有辅加热环;辅加热环所在平面和炉管本体的长度方向垂直。本申请中在管式扩散氧化炉内各个加热区段之间的过渡区段进一步地设置辅加热环,减小相邻两个加热区段之间的过渡区段的温度存在较大幅度的下降,也即可在一定程度上提升整个管式扩散氧化炉中温度的均匀性,进而有利于半导体电池等产品的生产质量。

本发明授权一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备在权利要求书中公布了:1.一种管式扩散氧化炉,其特征在于,包括炉管本体;所述炉管本体内包括沿所述炉管本体的长度方向依次分布的多个加热区段;每个所述加热区段的管壁上均贴合铺设有多个条形结构的主加热条,各个所述主加热条和所述炉管本体的长度方向平行; 还包括在相邻两个所述加热区段之间的过渡区段对应的管壁上贴合设置有环形结构的辅加热环;所述辅加热环所在平面和所述炉管本体的长度方向垂直; 在同一所述加热区段内相邻两个所述主加热条之间设置有绝缘隔条; 每个所述辅加热环两侧均设置有环形绝缘件;且所述环形绝缘件的截面高度大于所述辅加热环的截面高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人滁州捷泰新能源科技有限公司,其通讯地址为:239200 安徽省滁州市来安县汊河镇文山路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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