上海积塔半导体有限公司朱明兰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种热点定位辅助装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116482851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310443831.5,技术领域涉及:G02B21/36;该发明授权一种热点定位辅助装置及方法是由朱明兰;田浩然;罗俊一设计研发完成,并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热点定位辅助装置及方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种热点定位辅助装置及方法,应用于芯片检测技术领域,其中,包括:载台、第一镜头、第二镜头和处理单元;第一镜头和第二镜头,第一镜头设置于载台的正面一侧,第二镜头设置于载台的背面一侧,载台用于承载待测试芯片,第一镜头用于采集所述待测试芯片的正面成像信息,以及所述第二镜头用于采集所述待测试芯片的热点成像信息;处理单元,用于将热点成像信息叠加于正面成像信息以生成目标图像,以及对目标图像处理后获取热点的位置信息。本申请中可在芯片不做破坏性处理的前提下定位到缺陷位置,提高芯片缺陷定位的精准度和成功率。
本发明授权一种热点定位辅助装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种热点定位装置,其特征在于,包括:载台、第一镜头、第二镜头、处理单元和若干校准片; 第一镜头和第二镜头,所述第一镜头设置于载台的正面一侧,所述第二镜头设置于载台的背面一侧,所述第一镜头和所述第二镜头之间的相对位置固定设置; 所述校准片固定设置于所述载台上,所述校准片与待测试芯片位于同一平面;其中,所述校准片上设置有若干校准图形,所述校准图形用于所述第一镜头和所述第二镜头对视野中的同一个物像进行成像前的校准; 所述载台用于承载待测试芯片,以及带动芯片在平面内移动,以使所述待测试芯片位于所述第一镜头和第二镜头的视野中; 所述第一镜头用于采集所述待测试芯片的正面成像信息,以及所述第二镜头用于采集所述待测试芯片的热点成像信息; 处理单元,用于将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息以生成目标图像,以及对目标图像处理后获取热点的位置信息; 所述处理单元还用于针对第一镜头和第二镜头的视野中每个像素点均设置对应坐标点,并基于第一镜头对视野中的校准片采集校准图形的第一坐标结果,以及第二镜头对视野中的同一个校准片采集校准图形的第二坐标结果,将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息以生成目标图像: 如果第一坐标结果中的坐标与第二坐标结果中的坐标重合,则将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息; 如果第一坐标结果中的坐标与第二坐标结果中的坐标不重合,则将坐标差异数据记录为位移补偿量,并按所述位移补偿量将所述热点成像信息叠加于所述正面成像信息上的对应坐标位置。
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