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龙图腾网获悉辽宁中蓝光电科技有限公司申请的专利MEMS致动结构及其制备工艺流程获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116477560B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310622653.2，技术领域涉及：B81B5/00；该发明授权MEMS致动结构及其制备工艺流程是由孔旭东;王忠岭;夏风梁设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS致动结构及其制备工艺流程在说明书摘要公布了：本申请提供一种MEMS致动结构及其制备工艺流程，涉及微机电系统技术领域。其中，一种MEMS致动结构，包括：固定部、运动部和解耦梁；所述固定部与所述运动部一体结构设置，所述固定部设置于所述运动部外围，且二者之间具有一定间隙；所述运动部包括阵列结构，用于提供驱动力；所述解耦梁设置于所述固定部与所述运动部之间的间隙内，每根所述解耦梁上至少设有一个拐角，所述解耦梁为分层结构，所述解耦梁内设有导电线路，所述导电线路将所述固定部与所述运动部导通。本申请技术方案框架较少且为一体结构，整体结构强度更高，无需后期组装；导电线路设置在解耦梁内，避免了线路之间的物理碰撞，降低了损伤，使用寿命更长。

本发明授权MEMS致动结构及其制备工艺流程在权利要求书中公布了：1.一种MEMS致动结构，其特征在于，包括：固定部、运动部和解耦梁；所述固定部设置于所述运动部外围，且二者之间具有一定间隙；所述运动部包括阵列结构，用于提供驱动力；所述解耦梁设置于所述固定部与所述运动部之间的间隙内，所述解耦梁为分层结构，所述解耦梁内设有导电线路，所述导电线路将所述固定部与所述运动部导通； 每层所述解耦梁之间的间隙均相同，所述解耦梁内还设有绝缘层，所述绝缘层将所述导电线路部分包裹，用于实现所述导电线路间的电气绝缘，所述导电线路和所述绝缘层均与所述解耦梁上表面抵接； 所述运动部包括：内框架、十字型框架、L型框架和阵列结构；所述内框架内部形成有空间，所述十字型框架与所述阵列结构均设于所述空间内，所述阵列结构由若干阵列组成，所述内框架与所述十字型框架连接，将所述空间分成四个子空间，四个子空间内分别设有所述阵列，所述内框架与所述阵列之间设有L型框架，所述L型框架与所述解耦梁和所述阵列电连接； 其中，所述固定部、所述运动部与所述解耦梁一体结构设置，所述解耦梁一端与所述固定部连接，另一端与所述运动部连接；所述绝缘层与所述导电线路沿Z轴方向的长度小于所述解耦梁沿Z轴方向的长度。

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