应用材料公司拉尔夫·林登贝格获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116368435B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080106801.X，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法是由拉尔夫·林登贝格;沃尔夫冈·克莱因设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于将边缘支撑框架ESF固定到沉积设备的工作台框架的磁固定件。所述磁固定件包括：第一构件，所述第一构件具有磁体；和第二构件，所述第二构件具有磁元件。所述第一构件和所述第二构件各自耦接到所述工作台框架和所述ESF中的至少一者，其中在所述第一构件与所述第二构件之间的磁力被构造为将所述ESF固定到所述工作台框架。
本发明授权磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将边缘支撑框架固定到沉积设备的工作台框架的磁固定件，所述磁固定件包括： 第一构件，所述第一构件包括磁体以及用于容纳所述磁体的接触块， 第二构件，所述第二构件包括磁元件，其中 所述第一构件和所述第二构件各自耦接到所述工作台框架和所述边缘支撑框架中的至少一者，其中在所述第一构件与所述第二构件之间的磁力被构造为将所述边缘支撑框架固定到所述工作台框架， 其中当所述边缘支撑框架被施加到所述工作台框架时，所述接触块接触所述边缘支撑框架，并且其中所述接触块的边缘相对于所述第一构件的另外的部件在轴向方向朝向所述边缘支撑框架突出。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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