拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱太荣获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利净化台、净化台使用方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116259560B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211394284.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权净化台、净化台使用方法及半导体设备是由朱太荣;肖阳;林佳继;刘群设计研发完成，并于2022-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本净化台、净化台使用方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种净化台、净化台使用方法和半导体设备。该净化台内部沿进舟方向分为热排区、降温区和主动进气区，在热排区顶部设置热排口，在降温区设置排风口和排风风机，通过热排口和排风口排出高温气体、腐蚀性气体等有害气体，形成逐渐排热、分区保护的结构，能够快速有效地排出跟随石英舟以及硅片进入净化台内的高温气体和腐蚀性气体等有害气体，同时能够大大降低有害气体的温度和浓度，防止硅片被污染，减少有害气体造成的热损伤和化学损伤。该净化台使用方法能根据气压值调整净化台的送风风机和排风风机的转速，既能够满足散热需要，也能够避免因气流速度过快而使硅片抖动受损。
本发明授权净化台、净化台使用方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.净化台，其特征在于，包括机架，机架侧面具有进舟口，沿从所述进舟口向内的进舟方向，所述机架内具有依次连通的热排区、降温区和主动进气区，其中： 所述热排区设置有热排口11，所述热排口11用于排放有害气体，工艺后装载有硅片42的舟41经所述热排区进入所述降温区； 所述降温区用于放置和冷却所述舟41，所述降温区设置有排风口，所述排风口处安装有转速可控的排风风机22，所述排风风机22驱动所述有害气体经所述排风口排出所述净化台； 所述主动进气区设置有第一进风口，所述第一进风口处安装有转速可控的送风风机31； 所述机架具有与所述进舟方向平行设置的第一侧壁101和第二侧壁102， 所述第一侧壁101设置有若干第一缓存架201，所述第一缓存架201用于摆放所述舟41； 所述第二侧壁102设置有若干第二缓存架202，所述第二缓存架202用于摆放所述舟41； 所述舟41流转于所述第一缓存架201和所述第二缓存架202上。
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