盐城市晶汇电子材料有限公司成志洋获国家专利权
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龙图腾网获悉盐城市晶汇电子材料有限公司申请的专利一种晶体生长系统及其生长方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116065230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211709560.5,技术领域涉及:C30B15/02;该发明授权一种晶体生长系统及其生长方法是由成志洋设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体生长系统及其生长方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶体生长系统及其生长方法,其中生长系统包括晶体生长炉、切割卸料装置以及原料投放装置;切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构;原料投放装置包括升降坩埚机构、平移推送机构以及定量输送机构。该晶体生长系统及其生长方法利用原料投放装置能够向升降坩埚机构内定量投放原料,从而无需每次打开晶体生长炉进行人工投放原料,提高了晶体的生产效率;利用切割卸料装置能够对生长好的晶体球进行切割取出,从而无需每次打开晶体生长炉进行人工取出切割,进一步提高晶体的生产效率;利用夹持机构对籽晶杆的下端进行包裹式夹持,一方面能够减少切割粉尘的飞扬,另一方面能够确保切割时的稳定性。
本发明授权一种晶体生长系统及其生长方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体生长系统,其特征在于:包括晶体生长炉、切割卸料装置以及原料投放装置;切割卸料装置包括伸缩机构、夹持机构以及切割机构;原料投放装置包括升降坩埚机构、平移推送机构以及定量输送机构;伸缩机构安装在晶体生长炉的上部侧边上,夹持机构以及切割机构均安装在伸缩机构上,由伸缩机构驱动夹持机构以及切割机构进出晶体生长炉,由夹持机构对晶体生长炉内的籽晶杆21的下端进行包裹式夹持,由切割机构对籽晶杆21的下端进行切割;升降坩埚机构安装在晶体生长炉的底部上,平移推送机构安装在晶体生长炉下部的侧边上,定量输送机构安装在平移推送机构上,由定量输送机构向平移推送机构输送原料,由平移推送机构将原料推送至升降坩埚机构内,由升降坩埚机构上升驱动原料进入晶体生长炉的加热区间内进行加热熔融; 平移推送机构包括平移管道60、平移驱动单元以及推送料斗54;平移管道60贯穿式安装在晶体生长炉的下部,推送料斗54滑动式安装在平移管道60内;平移驱动单元用于平移推送料斗54伸出平移管道60至升降坩埚机构的上料侧上方; 定量输送机构包括原料箱62以及螺旋输送单元;螺旋输送单元的出料口与平移管道60相连通,用于向推送料斗54输送原料;螺旋输送单元的进料口与原料箱62的底部相连通; 伸缩机构包括卸料通道33、伸缩驱动单元以及U形框架36;卸料通道33连通式安装在晶体生长炉的上部侧边上,U形框架36的上下侧边框分别滑动式安装在卸料通道33的上下侧内壁上,伸缩驱动单元用于驱动U形框架36沿卸料通道33滑移;夹持机构以及切割机构均安装在U形框架36上;在卸料通道33的下侧设置有取料窗口49,并在取料窗口49处可拆卸安装有窗口封盖50; 夹持机构包括开合驱动单元以及两个夹持罩壳43;两个夹持罩壳43上下侧面夹持边缘的一端顶角分别旋转式安装在U形框架36的上下侧边框端部上;开合驱动单元安装在U形框架36的下侧边框上,用于推拉驱动两个夹持罩壳43同步开合运动;在两个夹持罩壳43上侧面夹持边缘的中部均设置有一个用于夹持籽晶杆21下端的夹持定位槽口65; 切割机构包括进给驱动单元、切割驱动单元以及旋转切割刀片42;在两个夹持罩壳43与切割机构相对的侧面上均设置有一个进给窗口19;旋转切割刀片42旋转式安装在进给驱动单元的端部上,由进给驱动单元推动旋转切割刀片42穿过进给窗口19进行切割;切割驱动单元用于驱动旋转切割刀片42旋转。
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