环晟光伏(江苏)有限公司马擎天获国家专利权
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龙图腾网获悉环晟光伏(江苏)有限公司申请的专利一种可保持硅片洁净度的移运方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115910876B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111114096.0,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种可保持硅片洁净度的移运方法是由马擎天;仇慧生;任亚寅设计研发完成,并于2021-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可保持硅片洁净度的移运方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种可保持硅片洁净度的移运方法,步骤包括:载有硅片的片篮输送至搬运小车中;从所述小车输出至缓存站中;从所述小车输出至设备中;所述小车、所述缓存站和所述设备均设有用于承载所述硅片的容腔;所述小车在与所述缓存站和所述设备对接时均形成一密封的通腔;当所述小车、所述缓存站和所述设备中的所述容腔与所述通腔中的洁净度、温湿度和气压均相同且均达到预设标准时,控制所述片篮通过所述通腔。本发明移运方法,可使硅片在搬运全过程中始终在微正压状态和千级的洁净环境中运输,防止硅片表面被灰尘污染,提高硅片表面质量,可使硅片良品率提高0.5‑0.8%。
本发明授权一种可保持硅片洁净度的移运方法在权利要求书中公布了:1.一种可保持硅片洁净度的移运方法,其特征在于,步骤包括: 载有硅片的片篮输送至搬运小车中; 从所述小车输出至缓存站中; 从所述小车输出至设备中; 所述小车、所述缓存站和所述设备均设有用于承载所述硅片的容腔,且所述容腔内设有FFU净化器和排气装置;所述FFU净化器用于过滤进入容腔的空气,所述排气装置用于排风; 所述小车在与所述缓存站和所述设备对接时均形成一密封的通腔,所述通腔通过自动卷帘门实现密封; 当所述小车、所述缓存站和所述设备中的所述容腔与所述通腔中的洁净度、温湿度和气压均相同且均达到预设标准时,控制所述片篮通过所述通腔; 所述缓存站包括若干缓存层,每一缓存层内设有若干双对接口的缓存储位,所述缓存站与小车的连接处设有接驳位,所述接驳位可与任一缓存层对接; 其中,所述洁净度的设定标准为每立方米中颗粒度的个数不超过1000个,且所述颗粒度的大小不大于0.5μm; 所述温湿度的设定标准为:温度21-26℃,湿度40-60%; 并所述气压的设定标准为微正压状态。
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