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江苏长电科技股份有限公司徐晨获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏长电科技股份有限公司申请的专利光电混合封装结构的制作方法和保护结构件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115840273B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211461077.X,技术领域涉及:G02B6/42;该发明授权光电混合封装结构的制作方法和保护结构件是由徐晨;周莎莎;周青云;刘彬洁设计研发完成,并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

光电混合封装结构的制作方法和保护结构件在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种光电混合封装结构的制作方法和保护结构件,包括步骤:提供一载板和光芯片,光芯片一侧面设置有至少一光接口;提供至少一电芯片,设置于光芯片上表面;提供至少一保护结构件,保护结构件为盖状结构,内部形成有一腔体,保护结构件的表面还形成有至少一通孔,将保护结构件对应光接口贴装于光芯片上表面,使得光接口完全位于腔体内;对腔体内环境进行降压处理,并于保护结构件外表面部分区域压覆薄膜层,使得腔体为低压密封腔体;形成塑封体。使得该腔体形成一密闭的低压空间,防止腔体内气压过高导致注塑及后续高温制程中产生裂性失效等问题,以满足注塑工艺及后续制程作业中的可靠性要求。

本发明授权光电混合封装结构的制作方法和保护结构件在权利要求书中公布了:1.一种光电混合封装结构的制作方法,其特征在于,包括步骤: 提供一载板和一光芯片,所述光芯片一侧面设置有至少一光接口,将所述光芯片具有所述光接口的一侧面背离所述载板设置于所述载板上表面; 提供至少一电芯片,将所述电芯片设置于所述光芯片上表面,并与所述光芯片实现电性连接; 提供至少一保护结构件,所述保护结构件为盖状结构,所述盖状结构内部形成有一腔体,所述保护结构件的表面还形成有至少一通孔,所述通孔连通所述保护结构件内外表面,将所述保护结构件对应所述光接口贴装于所述光芯片上表面,使得所述光接口完全位于所述腔体内; 对所述腔体内环境进行降压处理,并于所述保护结构件外表面至少部分区域压覆薄膜层,使得所述腔体为低压密封腔体;所述薄膜层厚度为15~30μm,为空腔器件专用膜; 提供塑封料,将所述塑封料覆盖所述薄膜层上表面、所述电芯片上表面和侧表面、所述保护结构件未被遮蔽的上表面和侧表面、以及所述光芯片未被遮蔽的上表面,形成塑封体; 其中,对所述腔体内环境进行降压处理,具体包括:提供一真空压膜设备,所述真空压膜设备包括真空装置和压膜装置,将封装好的所述载板、光芯片、电芯片以及保护结构件放置于所述真空压膜设备内,开启真空装置,设置目标真空度,对所述腔体外环境进行降压处理,直至所述腔体内气压达到所述目标真空度,关闭真空装置,保持真空压膜设备内空间的真空度; 所述方法还包括步骤: 减薄所述塑封体,直至暴露出所述保护结构件的顶壁; 减薄所述保护结构件的顶壁,直至完全暴露出所述光接口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏长电科技股份有限公司,其通讯地址为:214430 江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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