买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州桔云科技有限公司申请的专利升降式双腔晶圆单片腐蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732372B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211580534.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权升降式双腔晶圆单片腐蚀机是由曾麒文;洪成都设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本升降式双腔晶圆单片腐蚀机在说明书摘要公布了：本发明提供一种升降式双腔晶圆单片腐蚀机，包括腐蚀槽；所述腐蚀槽内设计有左右并列的双腔结构，所述腐蚀槽外部包裹有可以左右滑动的外壳，所述外壳的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽上部表面的封闭板，所述封闭板随所述外壳滑动在所述腐蚀槽上部滑动，所述外壳的左右侧分别装配有放置平台，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框放置在所述放置平台上部，所述外壳顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块。该设备就可以同时对两个腐蚀框内的晶圆进行蚀刻加工，效率更高，腐蚀槽与封闭板外部再形成一个气体隔离区域，进一步防止气体逸散到外部；进一步保证车间工作人员的安全。

本发明授权升降式双腔晶圆单片腐蚀机在权利要求书中公布了：1.一种升降式双腔晶圆单片腐蚀机，它包括腐蚀槽1，所述腐蚀槽1内装配有腐蚀加工晶圆的腐蚀液体；所述腐蚀槽1内设计有左右并列的双腔结构，其特征在于：所述腐蚀槽1外部包裹有可以左右滑动的外壳2，所述腐蚀槽1的前后装配有左右方向的轨道21，所述外壳2通过前后的轨道21左右滑动装配，所述外壳2的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽1上部表面的封闭板22，所述封闭板22随所述外壳2滑动在所述腐蚀槽1上部滑动，所述外壳2的左右侧分别装配有放置平台3，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框4放置在所述放置平台3上部，所述腐蚀框4采用镂空结构，所述外壳2顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块5，所述外壳2两侧分别固定有左右伸出的吊架51，所述吊架51的端部装配有转向轮，所述卷料模块5上卷绳的通过转向轮垂向放置平台3上的腐蚀框4，所述腐蚀框4的上部设计有挂取结构，所述卷绳垂下的端部装配有和挂取结构适配的挂钩52；所述外壳2上部的中间装配有负压模块23，所述负压模块23的底部进气口连通所述外壳2内部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州桔云科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区星汉街5号A幢11/12单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。