芝浦机械电子装置株式会社西垣寿获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利保护膜形成装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115732361B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211038278.9,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权保护膜形成装置是由西垣寿设计研发完成,并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护膜形成装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种不会对元件造成负担而能够形成表面平坦的保护膜的保护膜形成装置。保护膜形成装置包括:树脂供给部32,对基板的搭载有元件的面供给液状的固化性树脂R;基板保持部33,保持被供给有固化性树脂R的基板;支承部34,与基板保持部33相向地设置;带供给部35,向基板保持部33与支承部34之间供给防附着带T;按压部36,朝向支承部34按压基板,将被供给至基板的固化性树脂R按抵至防附着带T,使固化性树脂R在基板上延展;固化部37,使在基板上延展的固化性树脂R固化;以及固化部38,设于支承部34的周围,使固化性树脂R固化。
本发明授权保护膜形成装置在权利要求书中公布了:1.一种保护膜形成装置,包括: 树脂供给部,对基板的、搭载有元件的面供给液状的固化性树脂; 基板保持部,保持被供给有所述固化性树脂的所述基板; 支承部,与所述基板保持部相向地设置; 带供给部,向所述基板保持部与所述支承部之间供给防附着带; 按压部,朝向所述支承部按压所述基板,将被供给至所述基板的所述固化性树脂按抵至所述防附着带,使所述固化性树脂在所述基板上的保护膜形成区域延展; 第一固化部,设于所述按压部的内部,使所述固化性树脂固化; 第二固化部,设于所述支承部的周围,使所述固化性树脂固化;以及 第三固化部,设于所述支承部的内部,使所述固化性树脂固化, 所述第二固化部使位于所述按压部与所述支承部之间延展的所述固化性树脂的所述保护膜形成区域的外侧的所述固化性树脂的侧面固化。
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