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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备及其晶圆翻转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115706035B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110925922.3，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权半导体清洗设备及其晶圆翻转装置是由宋爱军;赵宏宇设计研发完成，并于2021-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体清洗设备及其晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其晶圆翻转装置。在该晶圆翻转装置中，翻转机构与翻转支座连接，第一夹持机构及第二夹持机构对称的设置于翻转支座的两端，翻转机构用于驱动翻转支座翻转，第一夹持机构及第二夹持机构均用于选择性夹持或释放晶圆；当第一夹持机构位于第一位置且第二夹持机构位于第二位置时，第一夹持机构可从前置机械手上夹持晶圆，后置机械手可从第二夹持机构上取走晶圆；当第一夹持机构位于第二位置且及第二夹持机构位于第一位置时，后置机械手可从第一夹持机构上取走晶圆，第二夹持机构可从前置机械手上夹持晶圆。本申请实施例实现了同时与前后置机械手配合工作，从而大幅缩短了晶圆翻转及传输时间。

本发明授权半导体清洗设备及其晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备的晶圆翻转装置，设置于所述半导体清洗设备的前置机械手及后置机械手之间，用于供所述前置机械手及所述后置机械手取放晶圆，并且对所述晶圆进行翻转，其特征在于，包括：翻转机构、翻转支座、第一夹持机构及第二夹持机构； 所述翻转机构与所述翻转支座连接，所述第一夹持机构及所述第二夹持机构对称的设置于所述翻转支座的两端，并且所述第一夹持机构与所述第二夹持机构朝向相反，所述翻转机构用于驱动所述翻转支座翻转，以带动所述第一夹持机构及所述第二夹持机构在第一位置及第二位置之间翻转，所述第一夹持机构及所述第二夹持机构均用于选择性夹持或释放所述晶圆； 当所述第一夹持机构位于所述第一位置且所述第二夹持机构位于所述第二位置时，所述第一夹持机构可从所述前置机械手上夹持所述晶圆，所述后置机械手可从所述第二夹持机构上取走所述晶圆；当所述第一夹持机构位于所述第二位置且及所述第二夹持机构位于第一位置时，所述后置机械手可从所述第一夹持机构上取走所述晶圆，所述第二夹持机构可从所述前置机械手上夹持所述晶圆。

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