浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司于琨获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司申请的专利太阳能电池片及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115548159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110738985.8,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权太阳能电池片及其形成方法是由于琨;刘长明;张昕宇;赵鹏松;高贝贝设计研发完成,并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本太阳能电池片及其形成方法在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种太阳能电池片及其形成方法,太阳能电池片的形成方法包括:提供基底;对所述基底进行硼扩散处理,在所述基底表面形成依次堆叠的硼掺杂层和硼硅玻璃层,所述硼硅玻璃层内具有间隙氧原子;所述硼扩散处理包括沉积阶段和推进阶段,在所述沉积阶段向所述基底提供硼源和氧源;所述沉积阶段的反应腔室的温度大于所述推进阶段的反应腔室的温度;在所述硼扩散处理之后,进行钝化阶段,向所述硼硅玻璃层提供钝化源,所述钝化源和所述间隙氧原子反应形成含氧化合物。本发明实施例有利于提高太阳能电池片的性能。
本发明授权太阳能电池片及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种太阳能电池片的形成方法,其特征在于,包括: 提供基底; 对所述基底进行硼扩散处理,在所述基底表面形成依次堆叠的硼掺杂层和硼硅玻璃层,所述硼硅玻璃层内具有间隙氧原子; 所述硼扩散处理包括沉积阶段和推进阶段,在所述沉积阶段向所述基底提供硼源和氧源,在所述推进阶段向所述基底提供所述氧源,所述沉积阶段提供所述氧源的速率大于所述推进阶段提供所述氧源的速率; 所述沉积阶段的反应腔室的温度大于所述推进阶段的反应腔室的温度; 在所述硼扩散处理之后,进行钝化阶段,向所述硼硅玻璃层提供钝化源,所述钝化源和所述间隙氧原子反应形成含氧化合物,其中,所述钝化源为镓源或钼源,形成的所述含氧化合物为氧化镓或氧化钼。
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